特許
J-GLOBAL ID：200903088364150849

振動モータ、位置決め装置および振動モータの制御方法

発明者：
三輪 聡

三輪 聡 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080749
公開番号（公開出願番号）：特開2001-268955
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：
【要約】【課題】 超音波モータを用いた位置決め装置の停止制御に直流サーボモータの制御を流用すると、停止時間が長時間化する。【解決手段】 振動子31と、移動子32と、移動子32が、目標位置から所定の距離の範囲に設定された位置決め許容範囲に達した時以降に、振動子31への駆動信号の入力を禁止する駆動制御装置61とを備える超音波モータ33、および超音波モータ33により駆動される可動ステージ34とを備える位置決め装置30である。
請求項（抜粋）：
駆動信号を入力されて振動を発生する振動子と、該振動子に加圧接触して相対運動を発生する相対運動部材と、前記振動子又は前記相対運動部材が、目標停止位置から所定の距離の範囲に設定された位置決め許容範囲に達した時以降に、前記振動子への前記駆動信号の入力を禁止する駆動制御装置とを備えることを特徴とする振動モータ。
IPC (2件)：
H02N 2/00 ,  G05D 3/12 305
FI (2件)：
H02N 2/00 C ,  G05D 3/12 305 Z
Fターム (38件)：
5H303AA05 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC06 ,  5H303DD14 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF09 ,  5H303HH01 ,  5H303JJ01 ,  5H303KK02 ,  5H303KK35 ,  5H303MM01 ,  5H680AA09 ,  5H680BB03 ,  5H680BB13 ,  5H680BC10 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD15 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD72 ,  5H680DD82 ,  5H680DD92 ,  5H680EE22 ,  5H680EE23 ,  5H680FF02 ,  5H680FF04 ,  5H680FF08 ,  5H680FF24 ,  5H680FF30 ,  5H680GG02 ,  5H680GG11 ,  5H680GG23 ,  5H680GG25 ,  5H680GG27
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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