感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201057
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033855
出願日： 1993年07月21日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：

【要約】【構成】 (A)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エポキシ基を含有するラジカル重合性化合物と、(c)他のラジカル重合性化合物との共重合体、(B)フェノール性化合物、(C)特定のメラミン類、および(D)特定のトリハロメチルトリアジン類、または一般式(III)(A)nZ+ Y- ..................... (III)で表わされる光酸発生剤として機能するオニウム塩類を含有することを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。【目的】感度、残膜率、耐熱性、基板との密着性に優れたネガ型レジスト用放射線性樹脂組成物を提供すること。

請求項（抜粋）：

(A)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エポキシ基を含有するラジカル重合性化合物と、(c)他のラジカル重合性化合物との共重合体、(B)フェノール性化合物、(C)一般式(I)【化1】(式中、R1 〜R6 は同一でも異なっていてもよく、それぞれ水素原子または基-CH2 ORを示し、Rは水素原子またはC1 〜C6 のアルキル基を示す。)で表わされるメラミン類、および(D)一般式(II)【化2】(式中、Xはハロゲンを表わし、AはCX3 または下記一般式で表わされる基を示し、そしてB、DおよびEは、それぞれ独立に水素原子、C1 〜C10のアルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、チオアルキル基、チオアリール基、ハロゲン、シアノ基、ニトロ基、C1 〜C10のアルキル基の付いた三級アミノ基、カルボキシル基、水酸基、C1 〜C10のケトアルキル基、もしくはケトアリール基、C1 〜C20のアルコキシカルボニル基、もしくはアルキルカルボニルオキシ基を示し、そしてmは1〜5の整数を示す。)【化3】で表わされるトリハロメチルトリアジン類、または一般式(III)(A)nZ+ Y- ..................... (III)(式中、Aの定義は上記式に同じであり、Zは硫黄またはよう素を示し、YはBF4 、PF6 、SbF6 、AsF6 、p-トルエンスルホナート、トリフルオロメタンスルホナートまたはトリフルオロアセテートを示し、そしてnは2または3を示す。)で表わされる光酸発生剤として機能するオニウム塩類を含有することを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (7件)：

C08G 59/32 NHW , C08G 59/18 NLE , C08L 33/00 LHV , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505 , H01L 21/027 , C08F220/32 MMP

引用特許：

審査官引用 (3件)

ネガ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-184858 出願人：三菱化成株式会社
特開平4-163552
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-350470 出願人：日本合成ゴム株式会社

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