特許
J-GLOBAL ID：200903088441494610

圧電デバイス

発明者：
海野 幸浩

海野 幸浩 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-191258
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009578
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：
【要約】【課題】 周波数調整の際の電気的影響を受けることがないので、周波数調整精度と周波数調整速度を高めることができると共に、少なくとも下方からの電気的影響を受けることなく高い性能を維持することができる圧電デバイスを提供すること。【解決手段】 内側に所定の内部空間33aを形成するように、パッケージ33に対して蓋体34を固定し、この内部空間に圧電振動片32を収容するようにした圧電デバイスであって、前記パッケージ33が、前記圧電振動片が収容配置された箇所よりも下方にグランド電極膜48を備える。
請求項（抜粋）：
内側に所定の内部空間を形成するように、ベースに対して蓋体を固定し、この内部空間に圧電振動片を収容するようにした圧電デバイスであって、前記ベースが、前記圧電振動片が収容配置された箇所よりも下方にグランド電極膜を備えることを特徴とする、圧電デバイス。
IPC (4件)：
H03H 9/10 ,  H01L 41/09 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/02
FI (4件)：
H03H 9/10 ,  H03H 3/04 A ,  H03H 9/02 M ,  H01L 41/08 C
Fターム (11件)：
5J108BB02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16
引用特許：
審査官引用 (3件)

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