特許

J-GLOBAL ID：200903088449172256

磁気ヘッド用基板、磁気ヘッドスライダ及び磁気ヘッド

発明者： 小畑 正明 ,  南上 英博 ,  四方 邦英 ,  松本 秀美 ,  王 雨叢 ,  高坂 祥二
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-020615
公開番号（公開出願番号）：特開2002-230730
出願日： 2001年01月29日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】イオン照射を用いる加工において、20〜250°Cの温度範囲において安定した精密加工性が得られる炭化珪素からなる磁気ヘッド用基板及びこれを用いた磁気ヘッドスライダを提供する。【解決手段】20〜250°Cの導電率が10-10Ω-1cm-1以上、該導電率の活性化エネルギーが0.1eV以下であることを特徴とする炭化珪素からなることを特徴とし、特に前記炭化珪素が、3C型結晶を主体とすることが好ましい。

請求項（抜粋）：

20〜250°Cの導電率が10-10Ω-1cm-1以上、該導電率の活性化エネルギーが0.1eV以下であることを特徴とする炭化珪素からなることを特徴とする磁気ヘッド用基板。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  C23C 16/32 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 B ,  C23C 16/32 ,  G11B 21/21 101 K

Fターム (12件)：

4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030BA37 ,  4K030DA08 ,  4K030FA10 ,  4K030LA05 ,  4K030LA11 ,  5D042NA02 ,  5D042PA05 ,  5D042PA09 ,  5D042SA01

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 高研磨性と高熱伝導率を有する炭化ケイ素の製造方法とその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-189696   出願人：シーブイディー,インコーポレイティド
• 炭化ケイ素焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-231470   出願人：株式会社ブリヂストン