特許

J-GLOBAL ID：200903088462204060

ノッチのずれ補正のための補正角度検出方法、真空槽における半導体ウェーハの方向調整方法、ノッチのずれ補正のための補正角度検出装置、および半導体ウェーハの方向調整装置

発明者： 西口 修
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-333521
公開番号（公開出願番号）：特開2005-101307
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】 ウェーハの方向調整を簡単かつ精度良く行う。【解決手段】 主制御装置1は、ウェーハ搬出入処理装置5を用いて真空槽内のプラテンにウェーハを設置した後に、検査装置10にウェーハの向きを検査させる。検査装置10は、プラテン上のウェーハを撮像し、得られた画像からウェーハの中心点およびノッチの代表点を抽出する。さらに検査装置10は、ウェーハの中心点から見たノッチの方向を示すノッチ角度を算出し、主制御装置1から与えられた基準角度とノッチ角度との差を求める。求められた差の値が所定の誤差を超える場合には、この差の値は補正角度として主制御装置1に送信される。主制御装置1は、検査装置10からの補正角度をプラテン制御装置6に与えることにより、補正角度分だけプラテンを回転させて、前記ウェーハの方向を調整する。この後は、イオン発生処理装置7を駆動して、ウェーハに対するイオン注入処理を実行する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空槽内のプラテンに保持された半導体ウェーハを撮像する第1ステップと、 前記撮像により得られた画像を処理して、半導体ウェーハのノッチの位置を検出する第2ステップと、 前記第2ステップの処理結果に基づき、所定の基準点から見たノッチの方向を示す角度を求める第3ステップと、 前記第3ステップで得られた角度と、あらかじめ設定された基準方向を示す基準角度との差を求めることにより、前記基準方向にノッチを合わせるのに必要な補正角度を検出する第4ステップとを、実行することを特徴とするノッチのずれ補正のための補正角度検出方法。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (2件)：

H01L21/68 M ,  H01L21/68 F

Fターム (16件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031HA16 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA11 ,  5F031KA14 ,  5F031MA31 ,  5F031MA33

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェーハノッチ位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-192698   出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社

審査官引用 (1件)

• プリアライメントサーチを含む位置合わせ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164169   出願人：株式会社東芝