検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265149
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237810
出願日： 1996年09月14日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】検査の最中でも装置本体内部の被検査体の検査状況や所在場所などのウエハステータスをリアルタイムで把握することができる検査装置を提供する。【解決手段】本プローブ装置は、カセット内の半導体ウエハを搬送するピンセットを備えたローダ部と、上記ピンセットを介して搬送された半導体ウエハを検査するプローバ部と、このプローバ部及びローダ部を制御するコントローラと、このコントローラを操作する操作パネルを兼ねる表示装置16とを備え、検査時に半導体ウエハWの所在場所及び検査の進捗状況を含む半導体ウエハWの状態を表示装置に表示する状態表示処理手段を設け、この状態表示処理手段は、ローダ部における半導体ウエハの状態を検出し且つその状態を表示処理するローダ状態表示処理手段と、メインチャック上の半導体ウエハの状態を検出し且つその状態を表示処理するステージ状態表示処理手段とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

容器内に収納された被検査体を載置する載置部及びこの載置部の被検査体を搬送する搬送機構を備えたローダ部と、このローダ部の搬送機構を介して搬送された被検査体を検査するプローバ部と、このプローバ部及び上記ローダ部を制御するコントローラと、このコントローラを操作する操作パネルを兼ねる表示装置とを備えた検査装置において、検査時に上記被検査体の所在場所及び検査の進捗状況を含む被検査体の状態を上記表示装置に表示する状態表示処理手段を設け、上記状態表示処理手段は、上記ローダ部における上記被検査体の状態を点検すると共にその状態を表示処理するローダ状態表示処理手段と、上記載置台上の上記被検査体の状態を点検すると共にその状態を表示処理するステージ状態表示処理手段とを備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01R 31/00 , G01R 31/28

FI (3件)：

H01L 21/66 B , G01R 31/00 , G01R 31/28 H

引用特許：

出願人引用 (5件)

モニタ装置およびモニタ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158944 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社
液晶表示体用基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-109042 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社
特開昭64-035928

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審査官引用 (4件)

モニタ装置およびモニタ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158944 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社
液晶表示体用基板の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-109042 出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・エンジニアリング株式会社
特開昭64-035928

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