半導体製造用化学蒸着装置のビューポート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-018763
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057113
出願日： 2001年01月26日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：

【要約】【課題】チャンバー内の熱損失を防止し、透視窓へのポリマー凝着を極小化させてその管理を容易にし、製品不良率を低減することができる半導体製造用化学蒸着装置のビューポートを提供する。【解決手段】プロセスチャンバー3の外壁をなす第2エレクトロ10の一側面に形成された開口11の外側周縁部に突設されたブラケット20と、ブラケット20の内部に挿入され開口11の外側周縁部とOリング31により密着する透視窓30と、ブラケット20の一側面に形成されたホール21の外周縁端部に沿って設けられ、ブラケット20の互いに対応する外周縁の端部に一端がヒンジ結合され、他端は結合または解除可能にロッキング手段41により結合されるキャップ部材40と、キャップ部材40の内側面に付着し透視窓30の一面に密着するようにホール21に挿入される断熱部材50とから構成される。

請求項（抜粋）：

半導体製造用化学蒸着装置のチャンバーの外壁をなすエレクトロの一側面に所定の大きさで形成された開口の外側周縁部に突設されているブラケットと、前記ブラケットの内部に挿入され、前記開口の外側周縁部とOリングにより密着している透視窓と、前記ブラケットの外側面に開設されたホールの外周縁端部に沿って設けられ、前記ブラケットの互いに対応する外周縁端部に一端がヒンジ結合され他端が結合または解除可能にロッキング手段により結合されるキャップ部材と、前記キャップ部材の内側面に付着し前記透視窓の一面に密着するように前記ホールに緊密に挿入される断熱部材とを備えることを特徴とする半導体製造用化学蒸着装置のビューポート。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , C23C 16/44

FI (2件)：

H01L 21/205 , C23C 16/44 B

Fターム (7件)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030KA10 , 4K030KA37 , 5F045BB14 , 5F045EC03 , 5F045EK06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-050723
真空装置用のぞき窓部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-077439 出願人：東洋鋼鈑株式会社
結晶成長装置および結晶プロセス装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-264180 出願人：日本電気株式会社

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