特許

J-GLOBAL ID：200903088565163400

ブレード破損検出装置

発明者： 古谷田 昌信
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-128255
公開番号（公開出願番号）：特開2006-310396
出願日： 2005年04月26日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：

【課題】 位置調整が不要であり、加工を行なう位置でのブレード磨耗量の検出を可能とし、より効率的なダイシング動作が行なえるブレード破損検出装置を提供すること。【解決手段】 ブレード21の側面近傍に設けられ、ブレード21に向けて光を投光する投光部24と、ブレード21を挟んで投光部24と対向して設けられ、投光部24から投光された光を受講する受光部25を有し、受光部25の受光領域29は、ブレード21のフランジ68からの突き出し長さdと同等以上の長さをブレード21の回転中心に向かって有する領域であることにより、投光部24と受光部25の位置調整が不要であり、また、軸移動動作を伴わずに加工位置でのブレード磨耗量の検出が行なえ、より効率的なダイシング動作を行なうことが可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ダイシング装置のブレード側面近傍に設けられ、前記ブレードに向けて光を投光する投光部と、 前記ブレードを挟んで前記投光部と対向して設けられ、該投光部から投光された光を受光する受光部とを有し、 前記受光部の受光領域は、前記ブレードのフランジからの突き出し長さと同等以上の長さを該ブレードの回転中心に向かって有する領域であることを特徴とするブレード破損検出装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 F

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ブレード変位検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-308664   出願人：株式会社東京精密
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-363001   出願人：株式会社東京精密

審査官引用 (1件)

• 特開平4-232407