特許
J-GLOBAL ID:200903088648254059
位置制御装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-153825
公開番号(公開出願番号):特開2003-345402
出願日: 2002年05月28日
公開日(公表日): 2003年12月05日
要約:
【要約】【課題】 本発明は少なくとも1軸方向に駆動されるステージ等の駆動制御に適した位置制御装置に関し、簡易的な外乱オブザーバを実現することにより制御系の演算負荷の軽減及び応答性の向上を図ることを課題とする。【解決手段】 少なくとも1軸方向に駆動される被駆動部材の位置を検出し位置検出値を出力する位置検出器と、この位置指令値に基づいて前記被駆動部材を駆動する駆動装置と、位置検出値と位置指令値との差により駆動装置の目標駆動値を生成するPID制御器と、外乱を抑制したい周波数帯域で目標駆動値をフィルタリングした指令推定値と、位置検出値から推定された推定負荷入力値とに基づき推定負荷外乱値を算出する外乱オブザーバとを有し、算出された推定負荷外乱値に基づいて外乱値を打ち消すように目標駆動値に対する補正を行なう位置制御装置において、外乱オブザーバを前向き制御器のみにより構成する。
請求項(抜粋):
少なくとも1軸方向に駆動される被駆動部材の位置を検出し位置検出値を出力する位置検出器と、位置指令値に基づいて前記被駆動部材を駆動する駆動装置と、前記位置検出値と前記位置指令値との差により前記駆動装置の目標駆動値を生成するPID制御器と、外乱を抑制したい周波数帯域で前記目標駆動値をフィルタリングした指令推定値と、前記位置検出値から推定された推定負荷入力値とに基づき推定負荷外乱値を算出する外乱オブザーバとを有し、算出された推定負荷外乱値に基づいて外乱値を打ち消すように前記目標駆動値に対する補正を行なう位置制御装置において、前記外乱オブザーバを前向き制御器のみにより構成したことを特徴とする位置制御装置。
IPC (2件):
G05B 13/02
, G05D 3/12 305
FI (2件):
G05B 13/02 C
, G05D 3/12 305 V
Fターム (23件):
5H004GA02
, 5H004HA07
, 5H004HB07
, 5H004JB03
, 5H004JB04
, 5H004JB22
, 5H004KB02
, 5H004KB04
, 5H004KB06
, 5H004MA12
, 5H004MA15
, 5H303BB02
, 5H303BB07
, 5H303BB12
, 5H303CC04
, 5H303DD04
, 5H303EE03
, 5H303FF09
, 5H303HH01
, 5H303KK02
, 5H303KK03
, 5H303KK04
, 5H303KK11
引用特許: