基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-184246
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047290
出願日： 2005年06月24日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】検査対象部位や検査の目的が変わっても、同じ構成の照明系を用いて検査に適した照明を実施できるようにする。【解決手段】基板4の上方に、カメラ1を光軸を下方に向けて配備し、このカメラ1の撮像対象領域を、複数のフルカラーLEDランプを有する照明装置により照明する。照明装置の各LEDランプは、前記カメラ1の光軸を取り囲み、かつ基板4上の撮像対象領域の中心点Oに対し、所定の角度幅をもつ範囲に配置される。これらのLEDランプを、角度範囲の異なる複数の領域A,B,C,D,Eに分類し、領域単位で制御することによって、検査の内容に応じた照明パターンを実現する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

検査対象の基板の上方に、撮像手段を光軸を下方に向けて配備するとともに、複数の多色発光型の発光体を、前記撮像手段の光軸を取り囲み、かつ前記基板上の撮像対象領域に対して所定の角度幅の範囲に含まれるように配置し、前記撮像対象領域に照射される照明光の色彩および撮像対象領域に対する光の照射角度を前記検査の内容によって変更できるように、各発光体の点灯状態を制御し、その制御による照明状態下で前記撮像手段を動作させることにより、基板検査用の画像を生成することを特徴とする基板検査用の画像生成方法。

IPC (4件)：

G01N 21/84 , G01N 21/956 , H05K 3/34 , G01B 11/24

FI (4件)：

G01N21/84 E , G01N21/956 B , H05K3/34 512B , G01B11/24 K

Fターム (37件)：

2F065AA61 , 2F065CC01 , 2F065CC26 , 2F065FF04 , 2F065GG07 , 2F065GG15 , 2F065GG23 , 2F065GG24 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065LL01 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ24 , 2G051AA65 , 2G051AB14 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB20 , 2G051BC01 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 5E319AA03 , 5E319AB06 , 5E319AC01 , 5E319BB05 , 5E319CC22 , 5E319CD26 , 5E319CD53 , 5E319GG15

引用特許：

出願人引用 (1件)

特公平6-1173号公報

審査官引用 (29件)

半田付け検査用画像入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-034201 出願人：株式会社日平トヤマ
特開平4-001510
特開平4-001510

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