特許

J-GLOBAL ID：200903088770657776

多チャネルプラズマ加速装置

発明者： ユーリ トルマチェフ ,  ヴァシリ パシコプスキ
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (3件)： 伊東 忠彦 ,  大貫 進介 ,  伊東 忠重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-162309
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352123
出願日： 2006年06月12日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】 多チャネルプラズマ加速装置を提供する。【解決手段】 上面が塞がっている円柱状の面に沿って形成され、円柱状の内部に第1チャネルを形成する中央シリンダと、中央シリンダと同じ同心軸を有する相異なる直径の円柱状の面に沿って形成される第1外部シリンダおよび第2外部シリンダと、を含み、第1外部シリンダおよび第2外部シリンダとの間の空間に第2チャネルを形成するため第1外部シリンダの直径は中心シリンダの直径より大きく形成され、第2シリンダの直径は第1外部シリンダの直径より大きく形成される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

上面が塞がっている円柱状の面に沿って形成され、前記円柱状の内部に第1チャネルを形成する中央シリンダと、 前記中央シリンダと同じ同心軸を有する相異なる直径の円柱状の面に沿って形成される第1外部シリンダおよび第2外部シリンダと、を含み、 前記第1外部シリンダおよび第2外部シリンダとの間の空間に第2チャネルを形成するため第1外部シリンダの直径は中心シリンダの直径より大きく形成され、第2シリンダの直径は第1外部シリンダの直径より大きく形成されることを特徴とする多チャネルプラズマ加速装置。

IPC (3件)：

H01L 21/306 ,  H05H 1/46 ,  H05H 1/54

FI (3件)：

H01L21/302 101C ,  H05H1/46 L ,  H05H1/54

Fターム (1件)：

5F004BA20

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 日本公開特許平9-237698号公報
  
• 日本公開特許平7-316824号公報
  
• 韓国公開特許2004-053502号公報号公報
  
• 日本公開特許平6-196298号公報
  

審査官引用 (2件)

• 誘導結合プラズマ・リアクタとその方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-049888   出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
• 電磁気誘導加速器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-417016   出願人：三星電子株式会社