基板収納容器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-093369
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286335
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】例えばシリコンウェーハ等の基板を有機物汚染の影響を受けることなく保管又は搬送が可能な基板収納容器を提供する。【解決手段】基板搬送ケース3を備えた基板収納容器にシリコン基板を30時間保管したとき、シリコン基板表面に付着する炭素汚染量が3×1014atoms/cm2以下である材質、又は、融点が300°C以上、好ましくは350°C以上、又は軟化点が260°C以上である有機高分子化合物からなる基板収納容器を提供する。

請求項（抜粋）：

基板搬送ケースを備えた基板収納容器において、上記容器に半導体基板を室温で30時間保管した後の基板表面の炭素濃度が3×1014atoms/cm2以下である材質を用いることを特徴とする基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (13件)：

3E096AA03 , 3E096BA16 , 3E096CA02 , 3E096DA17 , 3E096DA26 , 3E096DA30 , 3E096EA02X , 3E096FA02 , 3E096FA03 , 3E096FA04 , 5F031CA05 , 5F031DA08 , 5F031EA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

半導体基板の保管ボックス
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-223594 出願人：日本電気株式会社
可搬式密閉コンテナ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-011674 出願人：神鋼電機株式会社
ウェハーキャリヤ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-216426 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド

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