特許
J-GLOBAL ID：200903088853742414
有機電子発光素子用メタルマスク及びこれを利用した有機電子発光素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-181691
公開番号（公開出願番号）：特開2004-030975
出願日： 2002年06月21日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】有機電子発光素子用メタルマスク及びこれを利用した有機電子発光素子の製造方法を提供する。【解決手段】縁部に沿ってフレームにより支持されて、複数のパターン化した開口部を具備して上記開口部を通じて蒸着源から赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の組合わせよりなる複数の画素を有する有機発光膜を透明基板に蒸着させるものであって、上記開口部は上記透明基板側幅が上記蒸着源側幅より大きく形成されており、上記透明基板側開口部の幅をWs1、上記蒸着源側開口部の幅をWs2、上記有機発光膜の互いに隣接する画素間の距離をPp、上記蒸着される有機発光膜のうち一画素の発光膜幅をWelとする時、上記Ws1はWs1=Pp=Welの式を満足する少なくとも2つの単位マスクを具備する。これにより、実際メタルマスクを利用して有機発光膜を蒸着させるの上で生じ得るいろいろな不均一要素をマスク設計に反映することによって不良率を顕著に減少させうる。また、発光膜が蒸着されていない部分による輝度の低下を防止でき、かつ混色を防止できる。【選択図】 図13
請求項（抜粋）：
縁部に沿ってフレームにより支持され、複数のパターン化した開口部を具備して上記開口部を通じて蒸着源から赤色、緑色、青色の組合わせよりなる複数の画素を有する有機発光膜を透明基板に蒸着させるものであって、
上記開口部は上記透明基板側幅が上記蒸着源側幅より大きく形成されており、上記透明基板側開口部の幅をWs1、上記蒸着源側開口部の幅をWs2、上記有機発光膜の互いに隣接する画素間の距離をPp、上記蒸着される有機発光膜のうち1画素の発光膜幅をWelとする時、上記Ws1は下記式1を満足する少なくとも2つの単位マスクを具備したことを特徴とする有機電子発光素子用メタルマスク。
IPC (3件)：
H05B33/10
, C23C14/04
, H05B33/14
H05B33/10
, C23C14/04 A
, H05B33/14 A
3K007AB17
, 3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BC07
, 4K029BD00
, 4K029HA02
, 4K029HA03
