特許
J-GLOBAL ID：200903088888332855

インクジェットプリンタヘッドの製造方法

発明者：
河村 義裕

河村 義裕 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066177
公開番号（公開出願番号）：特開2001-253078
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：
【要約】【課題】インク加圧室の内壁に段差が発生しないように二層構造の隔壁を位置ずれ無く容易に形成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】発熱素子31が形成されているチップ基板30の全面にネガタイプの第1の隔壁部材32を積層し、マスク露光して、発熱素子31を四方から取り囲むピット部分に非露光部32-2、その他の部分に露光部32-1を形成する。未現像のまま、この上にネガタイプの第2の隔壁部材33を積層し、同様にマスク露光し、シール隔壁とインク流路の区画隔壁を作るための露光部33-1と、インク流路となる非露光部33-2を形成する。これにより、第1の隔壁部材32の露光幅W3は第2の隔壁部材33の露光幅W4よりも狭く設定されているので、第2の隔壁部材33の露光部33-1の露光投影領域で未だ露光されていない部分も露光され、第1の隔壁部材32に新たな露光部32-2-1が形成される。これを現像して非露光部32-2及び33-2を除去し、第1の隔壁34及び第2の隔壁35をセルフアライメントにより一括形成して、段差の無いインク加圧室36の内壁面を形成する。
請求項（抜粋）：
圧力エネルギー発生素子によりインクに圧力を作用させて所定方向にインクを噴射させて記録を行うインクジェットプリンタヘッドの製造方法であって、基板上にインクを加圧する加圧室を区画する隔壁の下層となるネガタイプの第1感光層を積層する工程と、前記第1感光層を所定の開口パターンを設けた第1マスクを介して露光する工程と、この露光に対して未現像のままの前記第1感光層上に前記隔壁の上層となるネガタイプの第2感光層を積層する工程と、前記第2感光層を所定の開口パターンを設けた第2マスクを介して露光する工程と、露光された前記第1感光層と前記第2感光層を一括して現像して前記隔壁を形成する工程と、を有することを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16 ,  B41J 2/05
FI (2件)：
B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 B
Fターム (8件)：
2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG46 ,  2C057AP02 ,  2C057AP31 ,  2C057AP47 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13
引用特許：
審査官引用 (6件)
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