特許
J-GLOBAL ID：200903088902482539
エアーナイフを用いた処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-374570
公開番号（公開出願番号）：特開2003-176982
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：
【要約】【課題】 この発明は搬送ローラを分断しても、基板の支持状態が損なわれることがないようにしたエアーナイフを用いた処理装置を提供することにある。【解決手段】 搬送される基板26の上下両面に対向して上部エアーナイフ5と下部エアーナイフ6とを配置し、各エアーナイフから基板の上面と下面とに圧縮空気を噴射させることで、この基板に付着した処理液を除去する処理装置において、処理槽1と、この処理槽に軸線を基板の搬送方向に対して交差させて回転可能に設けられるとともに下部エアーナイフに対応する箇所で分断され基板を所定方向に沿って搬送する複数の搬送ローラ15と、搬送ローラの分断箇所の下部エアーナイフの基板の搬送方向上流側と下流側に対応する位置の少なくとも上流側に設けられ搬送ローラの分断箇所において基板の搬送ローラによる支持状態が外れた部分を支持する支持ローラ29とを具備する。
請求項（抜粋）：
所定方向に搬送される基板の上下両面に、この基板の搬送方向に対して所定の角度で傾斜して対向する上部エアーナイフと下部エアーナイフとを配置し、各エアーナイフから上記基板の上面と下面とに圧縮空気を噴射させることで、この基板に付着した処理液を除去する処理装置において、所定方向の一端に搬入口、他端に搬出口を有する処理槽と、この処理槽に軸線を上記所定方向に対して交差させて回転可能に設けられるとともに上記下部エアーナイフに対応する箇所で分断され回転駆動されることで上記基板を上記搬入口から搬出口に向けて搬送する複数の搬送ローラと、上記搬送ローラの分断箇所の上記下部エアーナイフの上記基板の搬送方向上流側と下流側に対応する位置の少なくとも上流側に設けられ上記分断箇所において上記基板の上記搬送ローラによる支持状態が外れた部分を支持する支持ローラとを具備したことを特徴とするエアーナイフを用いた処理装置。
IPC (5件)：
F26B 13/04
, B08B 5/02
, F26B 5/14
, F26B 13/10
, F26B 13/24
F26B 13/04
, B08B 5/02 Z
, F26B 5/14
, F26B 13/10 H
, F26B 13/24
3B116AA01
, 3B116AB14
, 3B116AB47
, 3B116BB22
, 3B116BB90
, 3B116CC03
, 3L113AA02
, 3L113AA03
, 3L113AB01
, 3L113AC31
, 3L113AC48
, 3L113AC67
, 3L113BA34
, 3L113DA04
