ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292848
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107928
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】濡れ性に優れ、かつポリマーまたは添加物の析出性を抑えたポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた耐熱性パターンの作製方法を提供する。【解決手段】 (A)PBO前駆体であるヒドロキシポリアミド、(B)感光性キノンジアジド化合物、及び(C)特定の構造を有するシリコン系界面活性剤(親水性シリコンオイル)を溶剤に溶解し、ポジ型感光性樹脂組成物を調製し、それを用いて耐熱性パターンを作製する。

請求項（抜粋）：

(A)下記一般式(1)で表わされる繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド:100重量部、(B)感光性キノンジアジド化合物:5〜50重量部、(C)シリコン系界面活性剤:0.001〜5.0重量部、および(D)溶剤を必須成分として含有するポジ型感光性樹脂組成物。【化1】[式中X1は、下記に示される四価の基である。【化2】(A1 は、単結合、-O-、-C(CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -である。)X2は、下記に示される二価の基である。【化3】(A2は、単結合、-O-、-C(CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -である。)]

IPC (10件)：

G03F 7/037 , C08G 69/32 , C08K 5/28 , C08L 77/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , C08L 83:12

FI (10件)：

G03F 7/037 , C08G 69/32 , C08K 5/28 , C08L 77/06 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , C08L 83:12 , H01L 21/30 502 R

Fターム (52件)：

2H025AA00 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB26 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096DA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001EB35 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB55 , 4J001EB56 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB60 , 4J001EC23 , 4J001EC45 , 4J001EC46 , 4J001EC65 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC68 , 4J001EC70 , 4J001EE21F , 4J001EE42D , 4J001EE83F , 4J001FB03 , 4J001FB05 , 4J001FC03 , 4J001FC05 , 4J001JA20 , 4J002CL031 , 4J002CP182 , 4J002EQ036 , 4J002FD207 , 4J002GP03

引用特許：

出願人引用 (4件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-287674 出願人：クラリアントジャパン株式会社, 旭化成株式会社
ポジ感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-367005 出願人：旭化成株式会社, クラリアントジャパン株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-311947 出願人：住友ベークライト株式会社

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審査官引用 (4件)

感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-287674 出願人：クラリアントジャパン株式会社, 旭化成株式会社
ポジ感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-367005 出願人：旭化成株式会社, クラリアントジャパン株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-311947 出願人：住友ベークライト株式会社

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