特許
J-GLOBAL ID：200903070511672787

ポジ感光性組成物

発明者：
坂本 幸

坂本 幸 について

, 
西川 雅人

西川 雅人 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について

, 
クラリアント ジャパン 株式会社

クラリアント ジャパン 株式会社 について


代理人 (1件)： 鳴井 義夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367005
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183835
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 高感度で高コントラストのパターンを得られると同時に、現像時間を短縮でき、微細パターンの解像性及び接着性、パターン形状に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 特定の一般式の繰返し単位を含むポリアミド100重量部、(B)感光性キノンジアジド化合物1〜50重量部、及び(C)特定の一般式で示されるアミドフェノール化合物1〜50重量部を必須成分とする新規なポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)の繰返し単位を含むポリアミド100重量部、【化1】〔式中X1 は【化2】A1 は、単結合、-O-、-C(CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -X2 、X4 は【化3】A2 は、単結合、-O-、-C(CF3 )2 -、-CO-、-SO2 -X3 は2価の有機基a,bはモル分率を表し、a+b=100モル%a=60〜100モル%b=0〜40モル%X5 は、アルケニル基またはアルキニル基を少なくとも1個有する脂肪族、脂環式または芳香族基である。〕、(B)感光性キノンジアジド化合物1〜100重量部、および(C)下記一般式(2)又は(3)で示されるアミドフェノール化合物1〜100重量部を必須成分とするポジ型感光性樹脂組成物。【化4】〔Yは単結合または【化5】Z1 、Z2 は【化6】式中R1 は炭素数1〜15の炭化水素基、R2 、R3 、R4 は水素原子または炭素数1〜6のアルキル基またはハロゲン、R5 は炭素数2〜10の飽和脂肪族炭化水素基またはアルケニル基もしくはアルキニル基を少なくとも1個を有する脂肪族基または環式化合物基〕、【化7】〔Z1 、Z2 は上記に同じ。〕
IPC (10件)：
G03F 7/039 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/20 ,  C08K 5/42 ,  C08K 5/435 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/027
FI (10件)：
G03F 7/039 501 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/20 ,  C08K 5/42 ,  C08K 5/435 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/037 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (47件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC70 ,  2H025BC86 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  4J002CM041 ,  4J002EP026 ,  4J002EV247 ,  4J002EV286 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J043PA19 ,  4J043QB34 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SA75 ,  4J043SA85 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB302 ,  4J043XA03 ,  4J043XB27 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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