特許

J-GLOBAL ID：200903088951989770

角速度センサ

発明者： 持田 洋一 ,  厚地 健一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-024623
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196684
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 変位検出部の固定側検出用電極と可動側検出用電極との離間寸法を制御部によって小さくすることにり、変位検出部における検出感度を高める。【解決手段】 基板22上に固定された各支持部26には、水平方向に振動可能に支持される振動体28を支持梁27,27,...によって支持し、基板22と振動板28の対向する部分には、凸凹状電極34と凹凸状電極36とを互いに離間した状態で噛合するように形成する。そして、凸凹状電極34と凹凸状電極36とで制御部40を形成し、電極34,36間に直流電圧を印加すると、静電引力によって基板22側に振動体28が近づく。基板側電極33と凹凸状電極36の先端側電極38との離間寸法の変位は垂直方向に加わるコリオリ力の変位として静電容量によって高感度に検出することができる。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に設けられた支持部と、基端側が該支持部に設けられた支持梁と、前記基板の表面から離間した状態で該支持梁の先端側に設けられ、前記基板に対して水平方向と垂直方向に変位可能な振動体と、該振動体を水平方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動体に水平方向の振動を与えた状態で振動方向の直交方向の角速度により振動体に生じる垂直方向の変位を検出すべく、前記基板上に形成された固定側検出用電極と該固定側検出用電極に対向して前記振動体に形成された可動側検出用電極とからなる変位検出手段と、該変位検出手段の固定側検出用電極と可動側検出用電極との離間寸法が近接する方向に制御する制御手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 振動式角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-303905   出願人：日産自動車株式会社
• 慣性力センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-231301   出願人：株式会社豊田中央研究所