角度検出センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：野▲崎▼ 照夫 , 三輪正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-187161
公開番号（公開出願番号）：特開2005-024287
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】特にAMR効果や形状磁気異方性磁界の影響を抑制して、出力電圧の波形歪みを従来に比べて小さくすることが可能な角度検出センサを提供することを目的としている。【解決手段】磁気抵抗効果素子R1は、X軸配列片(1)〜(5)が互い違いに接続されて葛折り状を構成するX軸配列部42と、Y軸配列片(6)〜(10)が互い違いに接続されて葛折り状を構成するY軸配列部43とで構成され、前記Y軸配列部43は、前記X軸配列部42を90度回転させた配置である。これによってAMR効果による抵抗値変化をキャンセルできるため、出力電圧波形の歪みを低減できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

磁化の向きが固定された固定磁性層と、外部磁界により磁化方向が変動するフリー磁性層とを有する磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子を支持する基板と、磁場を形成して前記磁気抵抗効果素子に対面して回転する回転部とを有する角度検出センサにおいて、前記基板の幅方向をX軸方向、前記X軸方向から直角に傾く前記基板の奥行き方向をY軸方向としたときに、前記磁気抵抗効果素子は、X軸配列部とY軸配列部とからなり、前記X軸配列部は、Y軸方向に所定間隔を空けながらX軸方向に延びる複数本のX軸配列片が配置され、前記所定間隔は前記X軸配列片の長さ寸法に比べて小さく、隣り合う前記X軸配列片の同じ方向に向く端部どうしが交互に繋げられて、一本の蛇行した形状で構成され、前記Y軸配列部は、X軸方向に所定間隔を空けながらY軸方向に延びる複数本のY軸配列片が配置され、前記所定間隔は前記X軸配列片の長さ寸法に比べて小さく、隣り合う前記Y軸配列片の同じ方向に向く端部どうしが交互に繋げられて、一本の蛇行した形状で構成され、前記磁気抵抗効果素子は、前記X軸配列部とY軸配列部との端部どうしが繋げられた一本の連続形状で構成されることを特徴とする角度検出センサ。

IPC (2件)：

G01D5/18 , H01L43/08

FI (3件)：

G01D5/18 N , H01L43/08 P , H01L43/08 Z

Fターム (9件)：

2F077AA12 , 2F077AA20 , 2F077JJ09 , 2F077JJ23 , 2F077NN17 , 2F077PP15 , 2F077TT16 , 2F077UU09 , 2F077UU20

引用特許：

出願人引用 (3件)

磁気センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163901 出願人：株式会社三協精機製作所
強磁性磁気抵抗素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-170225 出願人：日本電気株式会社
回転角度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-318981 出願人：アルプス電気株式会社

審査官引用 (3件)

磁気センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163901 出願人：株式会社三協精機製作所
強磁性磁気抵抗素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-170225 出願人：日本電気株式会社
回転角度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-318981 出願人：アルプス電気株式会社

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