感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-036458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230596
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 IC、LCD用TFT回路などの回路製造用であって、耐薬品性、感度、現像性、残膜率、耐熱性および基板との密着性に優れた、アルカリ水溶液からなる現像液によって現像しうるポジ型レジストとして好適な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A](a-1)不飽和カルボン酸の重合単位および(a-2)下記一般式[I]【化1】(式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜5のアルキル基であり、R4は炭素数1〜5のアルキル基であり、mおよびnは互に独立に1〜5の整数である。)で表される化合物の重合単位を含有する共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、並びに[C]潜在性酸発生剤、を含有する感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

[A](a-1)不飽和カルボン酸の重合単位および(a-2)下記一般式[I]【化1】(式中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜5のアルキル基であり、R4は炭素数1〜5のアルキル基であり、mおよびnは互に独立に1〜5の整数である。)で表される化合物の重合単位を含む共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、並びに[C]潜在性酸発生剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-312524 出願人：日本ゼオン株式会社
ポジ型ホトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-073613 出願人：東京応化工業株式会社
特開平2-264954

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