特許

J-GLOBAL ID：200903089110973710

被加熱物搭載用ヒータ部材およびそれを用いた基板処理装置

発明者： 夏原 益宏 ,  仲田 博彦 ,  柊平 啓 ,  新間 健司
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-112903
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313890
出願日： 2001年04月11日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】 所定温度に加熱する際のヒータへ投入する電力を低減することができ、これまで以上に効率的に被加熱物を加熱できる被加熱物搭載用ヒータ部材およびそれを用いた基板処理装置を提供する。【解決手段】 本発明の被加熱物搭載用ヒータ部材は、被加熱物を搭載して加熱する被加熱物搭載用ヒータ部材において、半導体ウェハや液晶用基板などの基板10を搭載する面以外の少なくとも一部の面が鏡面である。

請求項（抜粋）：

被加熱物を搭載して加熱する被加熱物搭載用ヒータ部材において、前記被加熱物を搭載する面以外の少なくとも一部の面が鏡面であることを特徴とする、被加熱物搭載用ヒータ部材。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 567

Fターム (10件)：

5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30 ,  5F046KA04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 複層セラミックヒーター
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-175080   出願人：信越化学工業株式会社
• 耐プラズマ性に優れたアルミナセラミックス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-023489   出願人：株式会社神戸製鋼所, 神鋼コベルコツール株式会社
• 基板処理装置及びスパッタリング装置における静電吸着ステージのクリーニング方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-072804   出願人：アネルバ株式会社
• 静電チヤツク及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-303490   出願人：ソニー株式会社