容量性センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106004
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326096
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、電子信号処理装置と良好に接続された容量性センサを提供することを目的とする。【解決手段】第1の電極3 が第1の基板1 上に配置され、第2の電極4 が第2の基板2 上に配置され、それら第1の電極3 と第2の電極4 はキャパシタを形成するように互いに間隔を隔てられた関係で対向して配置され、基板1, 2はそれらの電極の側方において互いに接合され、第2の基板2 が第2の電極4 の領域5 において応力によって変形可能なダイヤフラムを形成しており、測定信号を処理する電子信号処理装置6 が、一方または両方の基板1 上に配置された電極3 の下の基板1 中に設けられていることを特徴とする。信号処理装置6 は増幅器7 を備えることもできる。

請求項（抜粋）：

第1の電極が第1の基板上に配置され、第2の電極が第2の基板上に配置され、それら第1の電極と第2の電極はキャパシタを形成するように互いに間隔を隔てられた関係で対向して配置され、基板はそれらの電極の側方において互いに接合され、第2の基板が第2の電極の領域において応力によって変形可能なダイヤフラムを形成している容量性センサにおいて、測定信号を処理する電子信号処理装置が、少なくとも1つの基板上に配置された電極の下の基板中に設けられていることを特徴とする容量性センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/12 , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-177567
特開平3-094169
半導体力学センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-249360 出願人：日本電装株式会社

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