特許
J-GLOBAL ID：200903089188487455
データ収集装置、及び該装置を用いた基板研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-282395
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051093
出願日： 2003年07月30日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 ターンテーブルの回転位置検出パルスに基づいて基板に対する測光値データの収集のタイミングを決める装置において、異常なタイミングずれにより誤って収集したデータによる研磨度判定精度の低下を回避する。 【解決手段】 回転位置検出パルス(a)の発生時点から時間t1が経過したときに測光部が基板直下に入ったと判断して測定開始指示信号(b)を出し、所定点数の測光値データを取得する(c)。測定開始指示信号毎にタイムスタンプを行い、設定された回転速度情報に基づき想定される次の周回の測定開始指示信号出現位置付近に検出窓を設定し(d)、実際に発生した測定開始指示信号が検出窓を逸脱した場合には、その周回で取得した測光値データに無効フラグを設定する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
位置が固定された固定部と回転運動している回転部との間で、該回転部が所定回転位置にあるときにデータを収集するデータ収集装置において、
a)前記回転部が前記所定回転位置と異なる回転位置に到達したときにトリガ信号を発生するトリガ信号発生手段と、
b)該トリガ信号発生時点から所定時間が経過したときに測定指示信号を発生する測定指示信号発生手段と、
c)前記測定指示信号が所定の時間範囲内にあるか否かを判定する判定手段と、
を備えることを特徴とするデータ収集装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622S
, B24B37/04 K
3C058AA07
, 3C058AC02
, 3C058CA01
, 3C058DA12
