特許

J-GLOBAL ID：200903089221094227

多機能試料表面分析装置

発明者： 関 節子 ,  田村 一二三
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-075539
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264858
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 材料の外因的な試料表面吸着物と材料自体およびその表面の分析を明確に区別して分析することができる多機能試料表面分析装置を提供する。【解決手段】 励起用一次電子ビーム16を得る電子銃1と、この電子銃1からの前記一次電子ビーム16を集束するための少なくともコンデンサレンズ3と対物レンズ6と、前記一次電子ビーム16の試料7への照射により、脱離正イオン18と二次電子ビーム17を生成する手段と、脱離正イオン18と二次電子ビーム17を上部に導く手段と、その上部に導かれた脱離正イオン18と二次電子ビーム17の極性差を利用して振り分ける偏向電極5と、二次電子ビーム17を検出する電子ビーム検出系と、脱離正イオン18を検出する脱離正イオン検出系とを設ける。

請求項（抜粋）：

(a)励起用一次電子ビームを得る電子銃と、(b)該電子銃からの前記一次電子ビームを集束するための少なくともコンデンサーレンズと対物レンズと、(c)前記一次電子ビームの試料への照射により脱離正イオンと二次電子ビームを生成する手段と、(d)前記脱離正イオンと二次電子ビームを上部に導く手段と、(e)該上部に導かれた脱離正イオンと二次電子ビームの極性差を利用して振り分ける偏向電極と、(f)前記二次電子ビームを検出する電子ビーム検出系と、(g)前記脱離正イオンを検出する脱離正イオン検出系とを具備する多機能試料表面分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  G01N 27/62 B ,  H01L 21/66 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 二次イオン質量分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-053726   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭51-135692
  
• 特開昭63-211551