特許
J-GLOBAL ID:200903089240669419

三次元形状計測装置および三次元形状計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 矢野 寿一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-323557
公開番号(公開出願番号):特開2009-145231
出願日: 2007年12月14日
公開日(公表日): 2009年07月02日
要約:
【課題】ノイズの影響を精度良く排除することができる三次元形状計測装置および三次元形状計測方法を提供する。【解決手段】演算部4によって、走査位置B・Cにおける計測点b・cよりも前に取得した計測点の集合たる積算計測点群Pを算出する積算計測点群演算工程と、演算部4によって、計測点b・cと照射部2の先端位置2b・2cの三次元座標と受光部3の先端位置3b・3cの三次元座標とから計測対象物7が存在しない空白領域Sb・Scを求め計測点b・cに対する空白領域Sb・Scを設定する空白領域設定工程と、演算部4によって、計測点b・cよりも前に取得した計測点(例えば、計測点a)に対する空白領域の合計たる積算空白領域Sを算出する積算空白領域演算工程と、演算部4によって、計測点b・cが積算空白領域Sに含まれるか否かに応じて計測点b・cがノイズであるか否かを判定するノイズ判定工程と、を備える三次元形状計測方法とする。【選択図】図3
請求項(抜粋):
計測対象物に対してスリット状のレーザー光を照射する照射部と、 前記計測対象物に照射された前記レーザー光の照射点から反射する拡散反射光を撮像する受光部と、 該受光部により撮像された画像に基づいて前記照射点の三次元座標を演算して計測点を得る演算部と、 前記計測対象物に対する前記レーザー光の走査位置を調整する走査部と、 を備える三次元形状計測装置を用いて行われ、 前記走査部によって、前記照射部の光軸を所定間隔で変更し、前記計測対象物に対する前記レーザー光の走査位置を所定間隔で変更する走査位置変更工程と、 前記照射部によって、任意の走査位置において前記計測対象物に対して前記レーザー光を照射するレーザー光照射工程と、 前記受光部によって、前記任意の走査位置において前記計測対象物に照射される前記レーザー光の照射点から反射する拡散反射光を撮像する拡散反射光撮像工程と、 前記演算部によって、前記任意の走査位置において前記受光部により撮像された画像に基づいて前記照射点の三次元座標を演算して前記任意の走査位置における計測点を得る計測点演算工程と、 を備える三次元形状計測方法であって、 前記演算部によって、 前記任意の走査位置における計測点よりも前に取得した計測点の集合たる計測点群を算出する積算計測点群演算工程と、 前記演算部によって、 前記計測点演算工程にて得られた前記任意の走査位置における計測点と、 前記照射部の先端位置の三次元座標と、 前記受光部の先端位置の三次元座標とから、 前記計測対象物が存在しない空白領域を求め、 前記任意の走査位置における計測点に対する空白領域を設定する空白領域設定工程と、 前記演算部によって、 前記任意の走査位置における計測点よりも前に取得した計測点に対して設定した空白領域の合計たる積算空白領域を算出する積算空白領域演算工程と、 前記演算部によって、 前記任意の計測点が、 前記積算空白領域に含まれるか否かに応じて、 前記任意の計測点がノイズであるか否かを判定するノイズ判定工程と、 を備える、 ことを特徴とする三次元形状計測方法。
IPC (1件):
G01B 11/24
FI (1件):
G01B11/24 K
Fターム (15件):
2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM11 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31
引用特許:
出願人引用 (2件)

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