プラスチック基板の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-548025
公開番号（公開出願番号）：特表2005-510757
出願日： 2002年11月29日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：

本発明は、プラスチック基板に影響を与えず、バリヤ層の熱処理を行なうことにより、外部から浸透する水分や酸素を防ぐことができるプラスチックディスプレイ基板の製造方法に関するもので、透明プラスチック基板上にシリコン系のバリヤ層を形成するステップと、前記バリヤ層を局所的に熱処理を行なうステップを含むことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明プラスチック基板上にシリコン系のバリヤ層を形成するステップと、前記バリヤ層を局所的に熱処理するステップとを含むことを特徴とするプラスチックディスプレイ基板の製造方法。

IPC (6件)：

G09F9/00 , B32B27/06 , G02F1/1333 , G09F9/30 , H05B33/04 , H05B33/14

FI (6件)：

G09F9/00 338 , B32B27/06 , G02F1/1333 500 , G09F9/30 310 , H05B33/04 , H05B33/14 A

Fターム (54件)：

2H090JA07 , 2H090JB03 , 2H090JC07 , 2H090JC08 , 2H090JD11 , 2H090JD12 , 3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007BB01 , 3K007CA05 , 3K007CA06 , 3K007DB03 , 3K007FA02 , 4F100AA00B , 4F100AA12B , 4F100AA18C , 4F100AA19C , 4F100AB11B , 4F100AK01A , 4F100AK36C , 4F100AK42 , 4F100AK52B , 4F100AK55 , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100DB00B , 4F100EJ41B , 4F100GB41 , 4F100JD01B , 4F100JD03 , 4F100JD04 , 4F100JD04C , 4F100JG04B , 4F100JN01A , 4F100YY00B , 5C094AA38 , 5C094AA43 , 5C094BA27 , 5C094DA13 , 5C094EB02 , 5C094FB02 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA20 , 5G435AA13 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435HH18 , 5G435HH20 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (6件)

有機電界発光表示素子の製造方法、及び有機電界発光表示素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-379441 出願人：シーエルディー株式会社
プラスチック基板上に薄膜トランジスタを形成させる方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-531923 出願人：ザリージェンツオブザユニヴァーシティーオブカリフォルニア
透明導電性基板、透明導電性基板の製造方法および表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-327248 出願人：株式会社東芝

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