特許
J-GLOBAL ID:200903089343114105
カーボンナノチューブのパターン形成方法およびそのパターン形成物
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-309847
公開番号(公開出願番号):特開2005-150107
出願日: 2004年10月25日
公開日(公表日): 2005年06月09日
要約:
【課題】 高精細なCNTのパターンを、焼成時にCNTを酸化させることなく、しかも有機成分残渣を生じることなく形成し得る方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るCNTのパターン形成方法は、基板上にカーボンナノチューブと溶媒を含むスラリーを塗布し乾燥することにより粉体層を形成する粉体層形成工程、前記粉体層形成工程で得られた粉体層上にインクジェット法によりバインダーをパターン印刷するバインダー印刷工程、前記バインダー印刷工程においてバインダーが印刷されなかった粉体層の部分のみを基板上から除去することにより前記粉体層のパターンを形成するパターン形成工程、および前記パターン形成方法で得られたパターンを焼成する工程、を経ることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板上にカーボンナノチューブと溶媒を含むスラリーを塗布し乾燥することにより粉体層を形成する粉体層形成工程、前記粉体層形成工程で得られた粉体層上にインクジェット法によりバインダーをパターン印刷するバインダー印刷工程、前記バインダー印刷工程においてバインダーが印刷されなかった粉体層の部分のみを基板上から除去することにより前記粉体層のパターンを形成するパターン形成工程、および前記パターン形成方法で得られたパターンを焼成する工程、を経ることを特徴とするカーボンナノチューブのパターン形成方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
5C127AA01
, 5C127BA09
, 5C127BA15
, 5C127BB07
, 5C127CC07
, 5C127DD13
, 5C127DD17
, 5C127DD19
, 5C127DD63
, 5C127DD64
, 5C127EE20
, 5C135AA09
, 5C135AA15
, 5C135AB07
, 5C135HH20
引用特許:
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