特許

J-GLOBAL ID：200903089380064185

ヒーター

発明者： 後藤 義信
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-004069
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197161
出願日： 2004年01月09日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】 絶縁性基体および抵抗発熱体を備えているヒーターにおいて、絶縁性基体とは別体の部材を設置する必要なしに加熱面の温度を制御できるようにする。【解決手段】 ヒーター1は、絶縁性材料からなる基体2、および基体2に設けられている抵抗発熱体3を備えている。抵抗発熱体3が、複数の並列接続された発熱部6a、6b、6cを含む並列接続部6A〜6Jを備えている。例えば発熱部6a、6b、6cのうち少なくとも一つが、発熱部の抵抗値を調整する抵抗値調整手段8A、8B、8Cを備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

絶縁性材料からなる基体、およびこの基体に設けられている抵抗発熱体を備えているヒーターであって、 前記抵抗発熱体が、並列接続された複数の発熱部を含む並列接続部を備えていることを特徴とする、ヒーター。

IPC (4件)：

H05B3/10 ,  H05B3/12 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74

FI (5件)：

H05B3/10 A ,  H05B3/10 C ,  H05B3/12 B ,  H05B3/20 328 ,  H05B3/74

Fターム (13件)：

3K034AA02 ,  3K034AA05 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA21 ,  3K034BB06 ,  3K034JA10 ,  3K092PP20 ,  3K092QA04 ,  3K092QA06 ,  3K092RF09 ,  3K092VV18 ,  3K092VV22

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体ウェハー加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-201075   出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (2件)

• セラミックヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-122588   出願人：京セラ株式会社
• 電気抵抗値調整方法並びに発熱体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-130899   出願人：株式会社美鈴工業