特許
J-GLOBAL ID：200903089392887705

試料表面観察装置

発明者：
北村 真一

北村 真一 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (9件)： 阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明 ,  飯高 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-014467
公開番号（公開出願番号）：特開2004-226237
出願日： 2003年01月23日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】NC-AFM像と電位像の同時観察において高感度での周波数の変化の検出と検出利得の向上を図る。【解決手段】NC-AFMの画像信号であるカンチレバー1の固有振動数の周波数シフト信号に重畳させ、その後段でロックイン検出していた静電気力等によりNC-AFM像と電位像を観察できるようにした試料表面観察装置において、位相比較器を有し周波数シフトを電圧に変換して周波数がカンチレバーの固有振動数より一定量シフトするようにZ動駆動する第1のフィードバック手段7〜10と、第1のフィードバック手段の位相比較器の出力を直接取り出してフィルタを介してロックイン検出しカンチレバー1の探針・試料間の静電気力が最小となるようにカンチレバー1の電位にフィードバックする第2のフィードバック手段15〜18とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
探針を先端に有し該探針が試料の表面に近接配置されるカンチレバーと、前記試料と前記探針とを相対的にX,Yスキャンするスキャン手段と、前記試料と前記探針との距離を相対的に変化させるZ動駆動手段と、前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段と、該変位検出手段の検出信号により前記カンチレバーを固有振動数で正帰還発振させる加振手段とを備え、前記変位検出手段の検出信号をZ動駆動手段にフィードバックすると共に前記カンチレバーと試料との間の電位値としてフィードバックすることにより、非接触原子間力顕微鏡像と電位像を観察できるようにした試料表面観察装置において、前記変位検出手段の検出信号を入力とする位相比較器を有し周波数シフトを電圧に変換して周波数が前記カンチレバーの固有振動数より一定量シフトするように前記Z動駆動手段をZ動駆動する第1のフィードバック手段と、前記第1のフィードバック手段の位相比較器の出力を直接取り出してフィルタを介してロックイン検出し前記カンチレバーと試料との間の電位差としてフィードバックする第2のフィードバック手段とを備えたことを特徴とする試料表面観察装置。
IPC (3件)：
G01N13/16 ,  G01B7/34 ,  G01B21/30
FI (3件)：
G01N13/16 A ,  G01B7/34 Z ,  G01B21/30
Fターム (21件)：
2F063AA43 ,  2F063DA01 ,  2F063DB05 ,  2F063DD08 ,  2F063EB23 ,  2F063KA01 ,  2F063KA04 ,  2F063LA01 ,  2F063LA06 ,  2F063LA11 ,  2F069AA60 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG18 ,  2F069GG59 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069MM23 ,  2F069NN00 ,  2F069NN02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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