特許
J-GLOBAL ID:200903089529130143
プリント配線板、多層プリント配線板及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件):
特許業務法人アルガ特許事務所
, 有賀 三幸
, 高野 登志雄
, 中嶋 俊夫
, 村田 正樹
, 山本 博人
, 的場 ひろみ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-091241
公開番号(公開出願番号):特開2007-129180
出願日: 2006年03月29日
公開日(公表日): 2007年05月24日
要約:
【課題】層間接続手段として、選択的に非貫通孔にめっきを充填してなるBVHを形成した場合においても、高密度配線化、及び薄型化を図ることができるプリント配線板の提供。【解決手段】絶縁層1上に金属箔2とバリア金属層3とを順次積層する工程と、当該バリア金属層3上からレーザ照射により非貫通孔5を穿孔する工程と、デスミア処理後、めっき処理により当該非貫通孔内にめっき7を充填するとともにバリア金属層3上にもめっき7を析出する工程と、エッチング処理によりバリア金属層3上に析出しためっき7と当該非貫通孔5から突出しためっき7を除去する工程と、当該バリア金属層3を剥離する工程と、当該金属箔2をエッチング処理して配線パターン8を形成する工程を経ることにより、当該めっき7が当該ブラインドバイアホール9のラウンドを含んだ配線パターン8上には形成されていないことを特徴とするプリント配線板。【選択図】図1
請求項(抜粋):
異なる配線パターン形成層間をブラインドバイアホールで接続してなるプリント配線板であって、当該ブラインドバイアホールが非貫通孔にめっきを充填したものからなり、且つ、当該めっきが当該ブラインドバイアホールのラウンドを含んだ配線パターン上には形成されていないことを特徴とするプリント配線板。
IPC (4件):
H05K 1/11
, H05K 3/40
, H05K 3/46
, H05K 3/00
FI (5件):
H05K1/11 N
, H05K3/40 K
, H05K3/46 N
, H05K3/46 X
, H05K3/00 N
Fターム (27件):
5E317AA11
, 5E317BB12
, 5E317CC25
, 5E317CC31
, 5E317CD15
, 5E317CD18
, 5E317CD25
, 5E317CD27
, 5E317CD32
, 5E317GG14
, 5E346AA15
, 5E346AA32
, 5E346AA43
, 5E346BB15
, 5E346BB16
, 5E346CC32
, 5E346DD12
, 5E346DD22
, 5E346DD32
, 5E346EE33
, 5E346FF04
, 5E346GG15
, 5E346GG17
, 5E346GG22
, 5E346GG23
, 5E346GG28
, 5E346HH26
引用特許: