超高速パルスレーザ堆積を使用する電気化学デバイス作製方法。

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-527754
公開番号（公開出願番号）：特表2008-504669
出願日： 2005年06月09日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

多層薄膜電気化学デバイスを作製する方法が提供される。その方法は、チャンバー中に第1ターゲット材料を供給するステップと、前記チャンバー中に基板を供給するステップと、第1プラズマを生成するために前記第1ターゲット材料に向けられた第1断続レーザビームを放射するステップであって、前記第1断続レーザビームの各パルスは約20fsから約500psのパルス持続時間をもつ、ステップと、第1薄膜を形成するために前記基板の上に前記第1プラズマを堆積するステップと、前記チャンバー中に第2ターゲット材料を供給するステップと、第2プラズマを生成するために前記第2ターゲット材料に向けられた第2断続レーザビームを放射するステップであって、前記第2断続レーザビームの各パルスは約20fsから約500psのパルス持続時間をもつ、ステップと、第2薄膜を形成するために前記第1薄膜の上あるいは上方に前記第2プラズマを堆積するステップと、を有する。【図1】

請求項（抜粋）：

チャンバー中に第1ターゲット材料を供給するステップと、前記チャンバー中に基板を供給するステップと、第1プラズマを生成するために前記第1ターゲット材料に向けられた第1断続レーザビームを放射するステップであって、前記第1断続レーザビームの各パルスは約20fsから約500psのパルス持続時間をもつ、ステップと、第1薄膜を形成するために前記基板の上に前記第1プラズマを堆積するステップと、前記チャンバー中に第2ターゲット材料を供給するステップと、第2プラズマを生成するために前記第2ターゲット材料に向けられた第2断続レーザビームを放射するステップであって、前記第2断続レーザビームの各パルスは約20fsから約500psのパルス持続時間をもつ、ステップと、第2薄膜を形成するために前記第1薄膜の上あるいは上方に前記第2プラズマを堆積するステップと、を有する多層薄膜電気化学デバイス作製方法。

IPC (6件)：

H01M 10/36 , H01M 4/04 , H01M 4/88 , H01M 8/02 , H01M 8/10 , H01M 14/00

FI (6件)：

H01M10/00 115 , H01M4/02 108 , H01M4/88 Z , H01M8/02 P , H01M8/10 , H01M14/00 P

Fターム (66件)：

5H018AA06 , 5H018BB07 , 5H018DD08 , 5H018EE02 , 5H018EE05 , 5H018EE12 , 5H018HH00 , 5H018HH03 , 5H018HH08 , 5H018HH10 , 5H026AA06 , 5H026BB04 , 5H026CX04 , 5H026EE02 , 5H026EE05 , 5H026EE12 , 5H026HH00 , 5H026HH03 , 5H026HH08 , 5H026HH10 , 5H029AJ00 , 5H029AJ14 , 5H029AK02 , 5H029AK03 , 5H029AK05 , 5H029AL02 , 5H029AL06 , 5H029AL11 , 5H029AM12 , 5H029CJ24 , 5H029DJ09 , 5H029DJ17 , 5H029HJ00 , 5H029HJ04 , 5H029HJ05 , 5H029HJ14 , 5H032AA06 , 5H032AS16 , 5H032BB05 , 5H032BB10 , 5H032CC14 , 5H032EE01 , 5H032HH00 , 5H032HH04 , 5H032HH06 , 5H050AA00 , 5H050AA19 , 5H050BA17 , 5H050BA18 , 5H050CA02 , 5H050CA08 , 5H050CA09 , 5H050CA11 , 5H050CB02 , 5H050CB07 , 5H050CB11 , 5H050CB13 , 5H050DA13 , 5H050FA02 , 5H050FA18 , 5H050GA24 , 5H050HA00 , 5H050HA04 , 5H050HA05 , 5H050HA14 , 5H050HA20

引用特許：

審査官引用 (4件)

薄膜の製造方法と電池
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-223861 出願人：松下電器産業株式会社
リチウムイオン伝導性固体電解質とそれを用いた全固体電池
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-317732 出願人：松下電器産業株式会社
配向性薄膜作製法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-340218 出願人：科学技術振興事業団

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