特許
J-GLOBAL ID:200903089629527741

元素分析方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-153643
公開番号(公開出願番号):特開平11-002604
出願日: 1997年06月11日
公開日(公表日): 1999年01月06日
要約:
【要約】【課題】 試料形態を問わず、また複雑な前処理工程を必要とせず、オンラインで多元素を同時にかつリアルタイムに検出し定量することができる分析方法および装置を提供する。【解決手段】 本発明の方法では、試料にレーザーを集光し照射することによりプラズマを生じさせ、プラズマからの蛍光を、時間および/または波長成分に分解する機能を備えた光計測器により分析測定し、試料を構成する元素の特定・定量を行なう。また、このような方法において、対象元素に固有の波長のレーザーをタイミング良く照射することにより誘起蛍光を発生させ、誘起蛍光を光計測器により測定し分析する。さらに、プラズマ化した試料に、対象元素に固有の波長のレーザーを照射し、透過したレーザーを計測器により測定し、出力および/または時間波形を測定することにより、対象元素を定量することもできる。
請求項(抜粋):
試料にレーザーを集光して照射することにより、プラズマを生じさせ、このプラズマからの蛍光を、時間成分および/または波長成分に分解する機能を備えた光計測器により測定し、得られた情報から前記試料を構成する元素の特定および定量をそれぞれ行なうことを特徴とする元素分析方法。
IPC (4件):
G01N 21/63 ,  G01N 21/31 ,  G01N 21/39 ,  G01N 21/64
FI (4件):
G01N 21/63 A ,  G01N 21/31 Z ,  G01N 21/39 ,  G01N 21/64 D
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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