特許

J-GLOBAL ID：200903089680910380

粘着シート

発明者： 小池 洋 ,  金井 道生
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 大谷 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-095377
公開番号（公開出願番号）：特開2005-281419
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】ウエハのダイシング時に十分な粘着力でチップを保持してチップ飛散を防止し、ウエハ(チップ)の振動を抑制してチッピングを防止できる粘着シートを提供すること、また、ダイシング用粘着シートとしてウエハ裏面(研削面)に直接貼着される場合であっても、接着剤のような樹脂膜を介して貼着される場合であっても、エネルギー線照射で粘着力を低減させた後でのピックアップが確実に行われ、かつピックアップによるチップへのダメージを極小にすることのできる粘着シートを提供すること。【解決手段】基材フィルム上に、酢酸ビニルモノマーから導かれる構成単位を20〜80質量%含有するアクリル系共重合ポリマー(A)の側鎖に、該アクリル系共重合ポリマー(A)100g当り35ミリモル以上のエネルギー線重合性基を有する化合物(C)が導入された、JIS Z-0237に準拠して測定した保持力が50,000秒以上のエネルギー線重合性ポリマー(B)を主成分とする粘着剤により形成された粘着剤層を有する粘着シートとする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

基材フィルムとその上に形成された粘着剤層からなる粘着シートであって、該粘着剤層が、酢酸ビニルモノマーから導かれる構成単位を20〜80質量%含有する共重合ポリマー(A)の側鎖に、該共重合ポリマー(A)100g当り35ミリモル以上のエネルギー線重合性基を有する化合物(C)が導入された、JIS Z-0237に準拠して測定した保持力が50,000秒以上のエネルギー線重合性ポリマー(B)を主成分とする粘着剤により形成されてなることを特徴とする粘着シート。

IPC (3件)：

C09J7/02 ,  C09J131/04 ,  H01L21/301

FI (3件)：

C09J7/02 Z ,  C09J131/04 ,  H01L21/78 M

Fターム (20件)：

4J004AA09 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CC02 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J040DE021 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040FA231 ,  4J040GA01 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA11 ,  4J040GA14 ,  4J040JB07 ,  4J040JB09 ,  4J040LA02 ,  4J040LA06 ,  4J040PA23

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 再剥離型粘着性ポリマー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192372   出願人：リンテツク株式会社
• エネルギー線硬化型感圧粘着剤組成物およびその利用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-160297   出願人：リンテック株式会社
• ウエハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-040873   出願人：熊本日本電気株式会社, リンテック株式会社

審査官引用 (2件)

• ウエハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-040873   出願人：熊本日本電気株式会社, リンテック株式会社
• 再剥離型粘着性ポリマー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192372   出願人：リンテツク株式会社