ウエハ貼着用粘着シート

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-040873
公開番号（公開出願番号）：特開2001-226647
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【課題】ウエハダイシング時におけるウエハの振動を抑制し、チッピングを低減できるウエハ貼着用粘着シートを提供することを目的としている。【解決手段】本発明に係るウエハ貼着用粘着シートは、可塑剤を含有するポリ塩化ビニル系基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなり、エネルギー線照射前のエネルギー線硬化型粘着剤層の50°Cにおける弾性率が、4.0×104〜5.0×106Paの範囲にあることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

可塑剤を含有するポリ塩化ビニル系基材と、その上に形成されたエネルギー線硬化型粘着剤層とからなり、エネルギー線照射前のエネルギー線硬化型粘着剤層の50°Cにおける弾性率が、4.0×104〜5.0×106Paの範囲にあることを特徴とするウエハ貼着用粘着シート。

IPC (3件)：

C09J 7/02 , C09J 4/06 , H01L 21/301

FI (3件)：

C09J 7/02 , C09J 4/06 , H01L 21/78 M

Fターム (40件)：

4J004AA05 , 4J004AA09 , 4J004AA10 , 4J004AA11 , 4J004AB06 , 4J004AB07 , 4J004AC02 , 4J004CA05 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004CE02 , 4J004EA06 , 4J004FA10 , 4J040DE011 , 4J040DE012 , 4J040DF041 , 4J040DF042 , 4J040DF051 , 4J040DF052 , 4J040FA131 , 4J040FA132 , 4J040FA291 , 4J040FA292 , 4J040GA01 , 4J040GA05 , 4J040GA07 , 4J040GA18 , 4J040HB19 , 4J040HB21 , 4J040HB41 , 4J040HC01 , 4J040HC14 , 4J040HD05 , 4J040JA00 , 4J040JB08 , 4J040MA10 , 4J040MB03 , 4J040NA20 , 4J040PA32 , 4J040QA07

引用特許：

審査官引用 (8件)

チップ体の製造方法およびチップ体製造用粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-028653 出願人：リンテック株式会社
粘着剤組成物およびこれを用いた粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-107328 出願人：リンテック株式会社
半導体ウエハ加工用粘着シート
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-228634 出願人：住友ベークライト株式会社

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