干渉縞による形状・段差測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-084716
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266841
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：

【課題】波長走査の前後に基準面を機械駆動する機構を付加することにより、被測定体の表面に半波長以上の高さの段差が存在しても、不確定さなしに二次元表面形状を決定可能とする。【解決手段】出力光の波長λを時間的に変化させ得るレーザ光源1と、レーザ光源1からの光束を平行光束とした後、基準板4の基準面4’上、被測定面7上および既知の段差Hのゲージブロック8の上面9上に導くコリメータレンズ3と、基準板4の基準面4’を光束に平行に波長の数分の一ずつ平行移動させる駆動機構5と、基準面4’、被測定面7およびゲージブロック8からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像するCCDカメラ12とを備えた干渉計装置を用いて干渉縞による形状・段差を測定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

出力光の波長λを時間的に変化させ得るレーザ光源と、該レーザ光源からの光束を平行光束とした後基準面上、被測定面上および既知の段差Hのゲージブロック面上に導く光学系と、前記基準面を光束に平行に波長の数分の一ずつ平行移動させる駆動系と、前記基準面、前記被測定面および前記ゲージブロック上からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置を用いた干渉縞による形状・段差測定方法であって、出力光の波長をλに固定したまま前記撮像手段により干渉縞画像I1(x, y)を撮像し、前記基準面を前記駆動系により八分の一波長λ/8ずつ後退させる毎に、前記撮像手段により干渉縞画像I2(x, y)〜I5(x, y)を撮像し、該基準面を静止させた後、前記出力光の波長をλから略Δλ/M(Mは取り込む画像の枚数)ずつ変化させる毎に、前記撮像手段により干渉縞画像I6(x, y)〜IM+5(x, y)を撮像し、さらに前記出力光の波長をλ+Δλに固定したまま、該基準面を前記駆動系により八分の一波長(λ+Δλ)/8ずつ後退させる毎に、前記撮像手段により干渉縞画像IM+6(x, y)〜IM+9(x, y)を撮像し、該撮像して得られた該被測定面の干渉縞画像情報Ij(x, y)に対して、下記の数式(1)および数式(2)に基づく演算処理を施して得られる干渉縞位相を δ1(x, y)、δ2(x, y)とし、また下記の数式(3)に基づく離散的フーリエ変換処理を施して得られる干渉縞周波数の近似値を与える整数(Fkを最大にする整数k)をr(x, y)とし、該ゲージブロックの段差Hを与える上面および下面の各一点の座標をそれぞれ(xT, yT)、(xB, yB)とするとき、下記の数式(4)により該被測定面中心位置(x0, y0)から測った測定面各位置(x, y)の高さL1(x, y)を求める、ことを特徴とする干渉縞による形状・段差測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 11/02

FI (3件)：

G01B11/24 D , G01B11/02 H , G01B11/24 K

Fターム (26件)：

2F065AA25 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065BB25 , 2F065CC22 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG06 , 2F065GG22 , 2F065GG25 , 2F065HH03 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL30 , 2F065LL65 , 2F065NN06 , 2F065PP24 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25

引用特許：

出願人引用 (1件)

Zygoの1984 11/5の特許

審査官引用 (4件)

干渉縞測定解析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-275319 出願人：富士写真光機株式会社
形状測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-234738 出願人：理化学研究所
特開平4-297807

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