特許
J-GLOBAL ID：200903089729600675

インプリントモールドおよびその製造方法およびパターン形成方法

発明者：
相馬 宗尚

相馬 宗尚 について

, 
福上 典仁

福上 典仁 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-258709
公開番号（公開出願番号）：特開2008-078550
出願日： 2006年09月25日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】 樹脂からモールドを容易に剥離することが可能なモールドおよびその製造方法、ならびにインプリント法によるパターンの形成方法を提供する。【解決手段】 凹凸パターンを形成するためのインプリントモールドにおいて、凹凸パターンが形成されている面に凹凸パターン領域が設けられており、凹凸パターンが形成されている面の凹凸パターン領域外に貫通孔が設けられていることを特徴とするインプリントモールドを提供する。特にこの様なインプリントモールドであって、前記貫通孔が、複数設けられていることを特徴とするインプリントモールドを、より好ましい形態として提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
凹凸パターンを形成するためのインプリントモールドにおいて、凹凸パターンが形成されている面に凹凸パターン領域が設けられており、凹凸パターンが形成されている面の凹凸パターン領域外に貫通孔が設けられていることを特徴とするインプリントモールド。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26 ,  G02B 5/18 ,  B29C 59/02
FI (6件)：
H01L21/30 502D ,  G11B5/84 Z ,  G11B7/26 511 ,  G11B7/26 521 ,  G02B5/18 ,  B29C59/02 B
Fターム (24件)：
2H049AA03 ,  2H049AA07 ,  2H049AA31 ,  2H049AA37 ,  2H049AA39 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ08 ,  4F209AR02 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN06 ,  4F209PN13 ,  5D112AA02 ,  5D112AA06 ,  5D112AA18 ,  5D112AA19 ,  5D112AA24 ,  5D112BA10 ,  5D112GA00 ,  5D121CB09 ,  5F046BA10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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