特許
J-GLOBAL ID:200903089763820404
積層型セラミックガスセンサ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
桑原 英明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-351477
公開番号(公開出願番号):特開2000-180410
出願日: 1998年12月10日
公開日(公表日): 2000年06月30日
要約:
【要約】【課題】 セラミックセンサ内の温度の不均一を解消させかつヒーターの反りや剥離を防止させる。【解決手段】 埋め込みヒーター(9,9)を内部空室(4)の対向面側に配置し、対のヒーター(9,9)が内部空室(4)を介して対向する構成とする。
請求項(抜粋):
少なくとも一対の電極がジルコニア固体電解質板上に設けられ、該電極の少なくとも一方の電極が前記ジルコニア固体電解質板を含むセラミック体により形成された被検ガス雰囲気に連通するガス導入口を有する内部空間に設置され、該電極間の電位差あるいは該電極間に流れる電流の大きさにより被検ガス濃度を測定するガスセンサにおいて、当該ガスセンサを加熱する埋め込みヒーターが前記内部空室の両側に連続的に一体形成されていることを特徴とする積層型セラミックガスセンサ。
IPC (3件):
G01N 27/416
, G01N 27/419
, G01N 27/409
FI (4件):
G01N 27/46 371 G
, G01N 27/46 327 A
, G01N 27/46 331
, G01N 27/58 B
Fターム (10件):
2G004BB04
, 2G004BC03
, 2G004BD05
, 2G004BD14
, 2G004BD15
, 2G004BE22
, 2G004BG17
, 2G004BJ02
, 2G004BJ05
, 2G004BL08
引用特許: