ぴったり合う機構カバーを有するウェーハキャリアドア

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：岡田英彦 , 福田鉄男 , 犬飼達彦 , 石岡隆
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-561996
公開番号（公開出願番号）：特表2005-515644
出願日： 2003年01月16日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

ウェーハ容器(10)及び改良型ドア(26)である。ウェーハ容器のドアはラッチ機構の構成部材(40、42)を保持案内するように適合したラッチ機構カバー(44、46)を有している。ラッチ機構カバーはラッチ機構の構成部材にぴったり合っており、開口部(106)を設けて、オープン構造を備えるカバーを作ることもできる。オープン構造には、機構カバーの下の領域をより容易に清掃できるという利点がある。

請求項（抜粋）：

少なくとも上部と、底部と、一対の対向側面と、背部と、開口前部と、該開口前部を閉じるドアと、を備えるエンクロージャ部を有するウェーハ容器であって、前記ドアは、ドア筐体と、前記ドア筐体に配置される少なくとも一つのラッチ機構と、前記少なくとも一つのラッチ機構を覆って配置されるラッチ機構カバーと、を有し、前記ラッチ機構は、作動部と、それに動作可能に連結されて長手方向に摺動可能な少なくとも一つの長形のラッチアーム部と、を含み、前記ラッチ機構カバーは前記ラッチ機構をほぼ覆うパネル部を含み、また、前記ラッチ機構と向かい合う内表面を有し、前記ラッチ機構カバーはさらに、前記少なくとも一つのラッチアーム部に隣接した前記内表面から突出する一対の相離間した案内部を含み、前記少なくとも一つの長形のラッチアーム部は前記案内部間に長手方向に摺動可能に配置され、前記案内部は前記ラッチアーム部を摺動可能に案内設置するように適合されていることを特徴とするウェーハ容器。

IPC (2件)：

H01L21/68 , B65D85/86

FI (2件)：

H01L21/68 T , B65D85/38 R

Fターム (19件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BB03 , 3E096CA02 , 3E096CB03 , 3E096CC02 , 3E096DA05 , 3E096DA17 , 3E096DB01 , 3E096DC02 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA03 , 3E096GA07 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA12 , 5F031PA20 , 5F031PA23

引用特許：

出願人引用 (4件)

米国特許第5957292号(図3〜図10参照)
米国特許第4718552号(図1参照)
米国特許第5915562号

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審査官引用 (5件)

精密基板収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-230993 出願人：信越ポリマー株式会社
ドア付きウェハーエンクロージャ
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-505078 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
基板収納容器の蓋体
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-175640 出願人：信越ポリマー株式会社

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