特許
J-GLOBAL ID：200903022884892626

基板収納容器の蓋体

発明者：
富永 公徳

富永 公徳 について

, 
渡辺 直人

渡辺 直人 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (1件)： 藤本 英介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-175640
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354249
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：
【要約】【課題】 蓋体の内部等を十分に洗浄でき、基板汚染のおそれを有効に解消し、蓋体内部の洗浄液やその水滴等を容易に除去することのできる基板収納容器の蓋体を提供する。【解決手段】 容器本体1の開口正面からなるフランジ7をガスケット9を介しシール状態に閉鎖する蓋体10を、断面略U字状で略箱形の裏面プレート11と、裏面プレート11の開口表面に隙間を介し螺着被覆される表面プレート14と、裏面プレート11の外周部の上下左右にそれぞれ穿孔形成される複数の出没孔12と、裏面プレート11と表面プレート14との間に内蔵され、各出没孔12から出没可能な係止爪23を突出させてこれを容器本体1のフランジ7内周部の係止穴8に係合させる一対のラッチ機構17と、表面プレート14の略四隅部にそれぞれ丸く穿孔形成される洗浄液用の複数の流通口30とから構成する。蓋体10に小さい出没孔12の他に、複数の流通口30を形成するので、洗浄液を十分に流通・循環させ得る。
請求項（抜粋）：
容器本体の開口面を着脱自在の蓋体で閉鎖する基板収納容器の蓋体であって、上記蓋体を、裏面プレートに隙間を介して嵌め合わされる表面プレートと、これら裏面プレートと表面プレートの少なくともいずれか一方の外周部に設けられる出没孔と、該裏面プレートと表面プレートとの間に内蔵され、上記出没孔から出没可能な係止爪を突出させてこれを上記容器本体の開口面内周部の係止穴に嵌め入れるラッチ機構と、上記表面プレートに設けられた流体用の流通口とを有することを特徴とする基板収納容器の蓋体。
IPC (4件)：
B65D 43/02 ,  B65D 51/16 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
B65D 43/02 B ,  B65D 51/16 Z ,  H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
Fターム (35件)：
3E084AA05 ,  3E084AA14 ,  3E084AA24 ,  3E084AB10 ,  3E084BA02 ,  3E084CA03 ,  3E084CB02 ,  3E084CB03 ,  3E084CC03 ,  3E084FD04 ,  3E084GA08 ,  3E084GB12 ,  3E084HA03 ,  3E084HB09 ,  3E084HC03 ,  3E084HD04 ,  3E084KA02 ,  3E084LA17 ,  3E084LB03 ,  3E084LB07 ,  3E084LB09 ,  3E096AA06 ,  3E096BA15 ,  3E096BB03 ,  3E096CB03 ,  3E096DA17 ,  3E096DC01 ,  3E096FA03 ,  3E096GA07 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA19 ,  5F031EA12 ,  5F031EA19 ,  5F031PA24
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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