特許
J-GLOBAL ID：200903025452040040

シール部材及びプラズマ処理装置

発明者：
岩下 照樹

岩下 照樹 について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  鈴木 康仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350279
公開番号（公開出願番号）：特開2004-186329
出願日： 2002年12月02日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】耐久性に優れたシール部材を提供する。【解決手段】シール部材27は、フッ素系樹脂で形成されたリング状のシール本体28と、このシール本体28の内周部に設けられ、耐プラズマ性を有する材料で形成された保護リング29とを有している。シール本体28は、内周壁部30及び側壁部31a,31bからなる断面略U字状を有しており、これにより外周側に開口した環状凹部32が形成されている。シール本体28の環状凹部32内には、両側壁部31a,31bを拡げるための断面U字状の板バネリング34が配置されている。保護リング29は、底壁36及び側壁37a,37bからなる断面U字状をなしており、シール本体28の内周面全体とシール本体28の内周角部を覆うように構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
フッ素系樹脂で形成されたリング状のシール本体と、 前記シール本体の内周部に設けられ、耐プラズマ性を有する材料で形成された保護リングとを備えるシール部材。
IPC (7件)：
H01L21/31 ,  B01J19/08 ,  C23C16/44 ,  C23C16/50 ,  F16J15/12 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46
FI (7件)：
H01L21/31 C ,  B01J19/08 E ,  C23C16/44 B ,  C23C16/50 ,  F16J15/12 A ,  H05H1/46 A ,  H01L21/302 101C
Fターム (38件)：
3J040AA17 ,  3J040BA01 ,  3J040EA01 ,  3J040EA15 ,  3J040EA17 ,  3J040EA42 ,  3J040FA01 ,  3J040FA07 ,  3J040HA06 ,  4G075AA30 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC25 ,  4G075FB02 ,  4G075FB12 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030KA45 ,  4K030KA46 ,  4K030LA11 ,  4K030LA15 ,  5F004AA13 ,  5F004AA16 ,  5F004BB22 ,  5F004BC01 ,  5F004BC08 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AC01 ,  5F045AC02 ,  5F045AC11 ,  5F045AC16 ,  5F045BB08 ,  5F045BB14 ,  5F045EB05
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 特開昭55-017705
  • プラズマCVD装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-149147   出願人：松下電器産業株式会社
  • 特開昭58-199529
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