特許
J-GLOBAL ID：200903090135799062

高周波電源の出力電力制御方法および高周波電源装置

発明者：
小谷 弘幸

小谷 弘幸 について

, 
谷口 道夫

谷口 道夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-341232
公開番号（公開出願番号）：特開2005-109183
出願日： 2003年09月30日
公開日（公表日）： 2005年04月21日
要約：
【課題】 従来の高周波電源装置では、接続する負荷が放電負荷の場合には、放電開始から整合するまでの間に放電が消滅する場合があり、放電を利用するエッチング装置やCVD装置の加工プロセスに悪影響を与えるという問題があった。【解決手段】 進行波電力の出力開始時点では、整合器の整合部よりも負荷側の電圧が設定値になるように進行波電力の出力値を制御し、負荷が放電して増幅部と負荷との間が整合状態になった後は、進行波電力または進行波電力から反射波電力を減じた負荷側電力が設定値になるように進行波電力の出力値を制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
整合器を介して増幅部から出力する進行波電力を負荷に供給する高周波電源の出力電力制御方法において、 進行波電力の出力開始時点では、整合器の整合部よりも負荷側の電圧が設定値になるように進行波電力の出力値を制御し、負荷が放電して増幅部と負荷との間が整合状態になった後は、進行波電力または進行波電力から反射波電力を減じた負荷側電力が設定値になるように進行波電力の出力値を制御することを特徴とする高周波電源の出力電力制御方法。
IPC (6件)：
H01L21/3065 ,  C23C16/505 ,  G05F1/12 ,  H03G3/30 ,  H03H7/40 ,  H05H1/46
FI (6件)：
H01L21/302 101B ,  C23C16/505 ,  G05F1/12 ,  H03G3/30 B ,  H03H7/40 ,  H05H1/46 R
Fターム (25件)：
4K030FA03 ,  4K030KA30 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004BB32 ,  5F004BD04 ,  5F004CA03 ,  5F004CA07 ,  5F004CA08 ,  5H420BB02 ,  5H420BB12 ,  5H420BB13 ,  5H420BB14 ,  5H420DD03 ,  5H420DD10 ,  5H420EB39 ,  5H420FF03 ,  5H420FF04 ,  5H420FF05 ,  5H420FF19 ,  5H420FF25 ,  5H420HJ08 ,  5J100JA01 ,  5J100QA01 ,  5J100SA00
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 高周波電源
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-004528   出願人：株式会社ダイヘン
  • 高周波電源装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-335243   出願人：株式会社ダイヘン

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