特許
J-GLOBAL ID：200903094993818178

高周波電源装置

発明者：
小谷 弘幸

小谷 弘幸 について

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福本 佳樹

福本 佳樹 について

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伊藤 宏行

伊藤 宏行 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335243
公開番号（公開出願番号）：特開2003-143861
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】プラズマ処理装置のようにインピーダンスが急変することがある負荷に高周波電力を供給する高周波電源装置において、負荷のインピーダンスが急変したときに負荷に供給される電力が過大になるのを防止する。【解決手段】直流電源部1Aと直流/高周波交流変換部1Bとを有する高周波電源装置1において、負荷2のインピーダンスの減少方向への過渡的な変化が検出されたときに、直流電源部1Aの出力端の平滑用コンデンサCを強制的に放電させる放電回路1Cを設ける。また負荷2のインピーダンスの減少方向への過渡的な変化が検出されたときに、インバータINV2のスイッチ素子を能動領域で動作させることによりインバータINV2の出力を抑制するインバータ出力抑制手段を設ける。
請求項（抜粋）：
出力の大きさを制御し得るように構成されていて、出力端子間に平滑用コンデンサが接続された直流電源部と、前記直流電源部から得られる直流出力をインバータを用いて高周波交流出力に変換する直流/高周波交流変換部と、前記直流/高周波交流変換部から負荷に供給される進行波電力を設定値に保つように前記直流電源部の出力を制御する定常時出力制御手段とを備えた高周波電源装置において、前記負荷のインピーダンスの変化が反映される電気的な変量の変化を検出して、該電気的変量の変化から、前記負荷のインピーダンスの減少方向への過渡的な変化を検出する負荷インピーダンス変化検出手段と、前記負荷インピーダンス変化検出手段が前記負荷のインピーダンスの過渡的な変化を検出したときに前記平滑用コンデンサを強制的に放電させて前記直流電源部の出力電圧を設定電圧以下に低下させ、前記負荷のインピーダンスの過渡的な変化が解消したときに前記平滑用コンデンサの強制的な放電を解除する直流電源部出力抑制手段と、を具備してなる高周波電源装置。
FI (2件)：
H02M 7/48 M ,  H02M 7/48 U
Fターム (12件)：
5H007AA17 ,  5H007CA01 ,  5H007CB02 ,  5H007CB05 ,  5H007CC01 ,  5H007CC03 ,  5H007DA04 ,  5H007DB01 ,  5H007DC03 ,  5H007FA09 ,  5H007FA14 ,  5H007FA17
引用特許：
審査官引用 (12件)
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