特許
J-GLOBAL ID：200903090175277697

i線用レンズの波面収差測定装置及び方法

発明者：
鈴木 順

鈴木 順 について

, 
玄間 隆志

玄間 隆志 について

, 
市原 裕

市原 裕 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215399
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038758
出願日： 1996年07月25日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】被検レンズの収差量を正確に把握することができ、被検レンズの生産期間の短縮を図れるi線用レンズの波面収差測定装置及び方法を提供する。【解決手段】i線(365nm)用露光投影レンズを被検レンズとし、このレンズの波面収差を測定するi線用レンズの波面収差測定装置であって、Arイオンレーザ光のシングルモード(363.8nm)を出射するArイオンレーザ発振器1と、そのレーザ光をフィゾー面3及び被検レンズ6に入射させ、フィゾー面で反射された参照光13と、被検レンズを透過して反射球面5で反射され、再び被検レンズを透過した被検光14とを合成して干渉縞を発生させる波面干渉計部4と、干渉縞を微小変化させるピエゾ素子10と、波面干渉計部により発生する干渉縞を撮像し、干渉縞の画像情報を出力する撮像素子11と、干渉縞の画像情報に基づき被検レンズの波面収差を計算する処理装置7とを備える。
請求項（抜粋）：
i線用露光投影レンズを被検レンズとし、該被検レンズの波面収差を測定するi線用レンズの波面収差測定装置であって、レーザ光を出射する光源と、前記レーザ光を参照面及び前記被検レンズに入射させ、前記参照面で反射された参照光と、前記被検レンズを透過して反射球面で反射され、再び前記被検レンズを透過した被検光とを合成して干渉縞を発生させる干渉光学系と、前記干渉縞を微小変化させる干渉縞走査手段と、前記干渉光学系により発生する干渉縞を撮像し、該干渉縞の画像情報を出力する撮像手段と、前記干渉縞の画像情報に基づき前記被検レンズの波面収差を計算する処理手段とを備えることを特徴とするi線用レンズの波面収差測定装置。
IPC (2件)：
G01M 11/02 ,  G01B 9/02
FI (2件)：
G01M 11/02 B ,  G01B 9/02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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