特許

J-GLOBAL ID：200903090254664566

表面凹凸化したセラミックス部材及びその製造方法

発明者： 市島 雅彦 ,  鈴木 崇 ,  島井 駿蔵 ,  徳岳 文夫 ,  松山 豊和
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369736
公開番号（公開出願番号）：特開2003-171189
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月17日
要約：

【要約】【課題】 ガス放出性が抑制されながら、優れた耐プラズマ性を呈し、かつ表面に付着・堆積する異種物に対してアンカー効果などを呈する凹凸化したセラミックス部材、及びその製造方法の提供。【解決手段】 セラミックス部材の発明は、純度が95重量%以上で、平均粒子径10〜70μmの緻密質セラミックスを基材とし、表面層が破砕層(マイクロクラック)を含まず、かつ部分的に粒子が脱落したような凹凸構造となっていることを特徴とする。このような部材は、純度が95重量%以上で、平均粒径10〜70μmの緻密質セラミックス基材の表面を、酸性エッチング液中で侵食処理し、セラミックス加工面の破砕層を除去することによって得られる。

請求項（抜粋）：

純度が95重量%以上で、平均粒径10〜70μmの緻密質セラミックスを基材とし、前記平均粒径の5倍以内の表面層が破砕層を含まず、かつ部分的に粒子が脱落したように見える凹凸構造となっていることを特徴とする表面凹凸化したセラミックス部材。

IPC (2件)：

C04B 41/91 ,  C04B 35/00

FI (2件)：

C04B 41/91 B ,  C04B 35/00 H

Fターム (7件)：

4G030AA12 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030AA51 ,  4G030BA33 ,  4G030CA04 ,  4G030GA32

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 金属層を備えた窒化アルミニウム焼結体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-000959   出願人：イビデン株式会社
• 特開昭61-151081
  
• 特開平3-093687
  
• 導電性セラミツクスの加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-268855   出願人：東芝セラミツクス株式会社, 斎藤長男
• 特開昭52-133309
  
• 処理容器用部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-371941   出願人：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック
• 特開昭61-151081
  
• 特開平3-093687
  
• 特開昭52-133309