特許
J-GLOBAL ID：200903090292601055

ダイシングされる硬質プレートのチャッキング方法

発明者：
竹内 正之

竹内 正之 について


出願人/特許権者：
株式会社アイピー

株式会社アイピー について


代理人 (1件)： 豊栖 康弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248821
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077054
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 簡単かつ容易に、しかもダイシングされる硬質プレートを無歪状態でチャックテーブルに確実に固定する。【解決手段】 ダイシングされる硬質プレートのチャッキング方法は、加熱しない状態では固体であって、相変化温度よりも高温に加熱すると液体になる有機質の相変化材料1で、ダイシングする硬質プレート3をチャックテーブル2に固定する。
請求項（抜粋）：
加熱しない状態では固体であり、相変化温度よりも高温に加熱すると液体になる有機質の相変化材料(1)で、硬質プレート(3)をチャックテーブル(2)に固定することを特徴とする、ダイシングされる硬質プレートのチャッキング方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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