特許

J-GLOBAL ID：200903090313307667

位置検出装置

発明者： 安達 貞志
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319919
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160412
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 小さい段差のアラインメントマークを有する標本でも高精度な位置決め,位置測定を行うことが可能な位置検出装置を提供する。【解決手段】 本発明の位置検出装置は、光源1とピンホール絞り3とこのピンホール絞り3を介した光源1からの照明光をハーフミラー6を介して対物レンズ7の瞳面上に投影するためのフィールドレンズ5とを有する落射照明手段と、対物レンズ7の後側焦点位置と共役な位置近傍にピンホール絞り3と対応するパターンを有する位相差板11が配置され標本からの観察光を位相差板11を介してCCD13により受光しこのCCD13で生成された電気信号を用いて標本の位置検出を行う検出手段と、を備えている。

請求項（抜粋）：

対物レンズと、開口絞りと該開口絞りの像を半透過部材を介して前記対物レンズの瞳面上に投影するためのフィールドレンズとを有し前記半透明部材及び対物レンズを介して標本へ照明光を供給する落射照明手段と、前記対物レンズの後側焦点位置と共役な位置近傍に前記開口絞りと対応するパターンを有する位相差板が配置され前記標本からの観察光を前記位相差板を介して光電変換素子により受光し該光電変換素子で生成された電気信号を用いて前記標本の位置検出を行う検出手段と、を備えた位置検出装置において、前記開口絞りがピンホール形状に形成されていることを特徴とする位置検出装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01B 11/00 G ,  G02B 21/14 ,  H01L 21/30 525 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 軟X線顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-304131   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開昭63-316431
  
• アライメント装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-205307   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭63-316431