面発光レ-ザ、面発光レ-ザの製造方法、及び受光素子、受光素子の製造方法、並びに光伝送モジュ-ル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157737
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353564
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】低電流駆動を可能とした面発光レ-ザとその製造方法、及び高速変調を可能とした受光素子とその製造方法、並びに光結合効率を向上させた光伝送モジュ-ルを提供することを課題としている。【解決手段】面発光レ-ザ100の半導体基板1に、半導体基板1の他面1b側から発光部2Aの半導体基板1側の端部まで至る開口部5を形成し、当該開口部5の側面を利用して透明の樹脂からなるレンズ6を形成する。フォトダイオ-ド200の半導体基板10には、半導体基板10の他面10b側から受光部20Aの半導体基板10側の端部まで至る開口部5を形成し、当該開口部5の側面を利用して透明の樹脂からなるレンズ6を形成する。上記面発光レ-ザ100の発光部2Aに形成されたレンズ6と、フォトダイオ-ド200の受光部20Aに形成されたレンズ6とを光導波路を介さずに対向配置する。

請求項（抜粋）：

基板と、当該基板の一方の面に形成され、且つ、レ-ザ光を出射する発光部を有する半導体積層体と、当該発光部の積層方向に電流が流れるように電圧を印加する一対の電極と、を備えた面発光レ-ザにおいて、前記基板は、当該基板の他方の面から前記発光部の前記基板側の端部まで至る開口部を有し、当該開口部に、その側面を利用することで形成されたレンズを備えたことを特徴とする面発光レ-ザ。

IPC (3件)：

H01S 5/183 , H01L 31/10 , H01S 5/42

FI (3件)：

H01S 5/183 , H01S 5/42 , H01L 31/10 G

Fターム (26件)：

5F049MA04 , 5F049NA03 , 5F049NA15 , 5F049NA19 , 5F049NB01 , 5F049RA02 , 5F049RA07 , 5F049TA14 , 5F049WA01 , 5F073AA07 , 5F073AA53 , 5F073AA65 , 5F073AA74 , 5F073AB05 , 5F073AB15 , 5F073AB17 , 5F073AB28 , 5F073BA02 , 5F073CA04 , 5F073CB02 , 5F073DA05 , 5F073DA24 , 5F073DA25 , 5F073EA11 , 5F073FA04 , 5F073FA30

引用特許：

審査官引用 (7件)

垂直共振器型半導体発光素子、発光装置、光ディスク装置、記録装置、及びエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-044296 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭58-044780
特開昭64-084758

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