特許

J-GLOBAL ID：200903090345339757

炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法

発明者： 大月 正珠 ,  遠藤 茂樹
出願人/特許権者： 株式会社ブリヂストン
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183136
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009394
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：

【要約】【課題】炭化ケイ素焼結体の表面及び表面近傍に存在する有機及び無機不純物を、簡易に、且つ短時間で洗浄除去することができる炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法を提供すること。【解決手段】 炭化ケイ素焼結体を、準水系有機溶剤に浸漬する工程、及び無機酸水溶液に浸漬する工程で順次、且つ、少なくとも1つの工程で周波数1MHz以上の超音波を照射しながら処理することを特徴とする炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法である。

請求項（抜粋）：

炭化ケイ素焼結体を、準水系有機溶剤に浸漬する工程、及び無機酸水溶液に浸漬する工程で順次、且つ、少なくとも1つの工程で周波数700kHz以上の超音波を照射しながら処理することを特徴とする炭化ケイ素焼結体の湿式洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/12 ,  C04B 35/565

FI (2件)：

B08B 3/12 A ,  C04B 35/56 101 X

Fターム (12件)：

3B201BB02 ,  3B201BB82 ,  3B201BB83 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201BB95 ,  3B201BB96 ,  3B201CB15 ,  3B201CC21 ,  4G001BB22 ,  4G001BC71 ,  4G001BD38

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-144973   出願人：花王株式会社
• 炭化珪素製治具の洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-207098   出願人：住友金属工業株式会社
• 洗浄方法および装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平8-527671   出願人：ザダウケミカルカンパニー