特許
J-GLOBAL ID：200903090367370704

感光性組成物、感光性塗布物および微細パターン構造体

発明者：
長田 崇一郎

長田 崇一郎 について

, 
榎戸 雅史

榎戸 雅史 について

, 
高木 良博

高木 良博 について


出願人/特許権者：
富士フイルムオーリン株式会社

富士フイルムオーリン株式会社 について


代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096589
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292922
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 水現像が可能で、かつ物理的な強度と基板又は構成層への高い密着性とを有するパターン形成能の優れた感光性組成物を提供することである。また、その感光性組成物の塗布層を設けた塗工品及びその感光性組成物から作られた高精細構造体を提供する。【解決手段】少なくとも疎水性ポリマーと水溶性ポリマーと付加重合性化合物と光重合開始剤とを含む感光性組成物において、該疎水性ポリマーは、少なくとも末端にCOOM基(Mは、水素原子、アルカリ金属原子、アルカリ土類金属原子又はアンモニオ基)を含むポリマーであり、かつ該水溶性ポリマーとの含有比(疎水性ポリマー/水溶性ポリマー)が0.05〜4.0(重量比)であることを特徴とする感光性組成物。
請求項（抜粋）：
少なくとも疎水性ポリマーと水溶性ポリマーと付加重合性化合物と光重合開始剤とを含む感光性組成物において、該疎水性ポリマーは、少なくとも末端にCOOM基(Mは、水素原子、アルカリ金属原子、アルカリ土類金属原子又はアンモニオ基)を含むポリマーであり、かつ該水溶性ポリマーとの含有比(疎水性ポリマー/水溶性ポリマー)が0.05〜4.0(重量比)であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/032 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 572
Fターム (46件)：
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB01 ,  2H025AB03 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC12 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC51 ,  2H025CB04 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CB53 ,  2H025CB59 ,  2H025DA19 ,  2H025FA17 ,  2H096AA01 ,  2H096AA06 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096EA03 ,  2H096EA04 ,  2H096EA06 ,  2H096EA07 ,  2H096GA08 ,  5F046LA14
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
  • アルコール可溶性ナイロン トレジン
審査官引用 (1件)
  • アルコール可溶性ナイロン トレジン

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