特許

J-GLOBAL ID：200903090368297920

圧電素子及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者： ▲高▼部 本規 ,  角 浩二
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-093051
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278562
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：

【課題】 優れた変位特性を有する圧電素子及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】 下電極、圧電体層及び上電極からなると共に、前記圧電体層の表面の(100)面、(110)面及び(111)面に対する(100)面の割合が70%以上であると共に、前記圧電体層の表面に直交する垂直面の(100)面、(110)面、(210)面、(111)面及び(211)面に対する(100)面、(110)面及び(210)面の割合が80%以上である。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

下電極、圧電体層及び上電極からなると共に、前記圧電体層の表面の(100)面、(110)面及び(111)面に対する(100)面の割合が70%以上であると共に、前記圧電体層の表面に直交する垂直面の(100)面、(110)面、(210)面、(111)面及び(211)面に対する(100)面、(110)面及び(210)面の割合が80%以上であることを特徴とする圧電素子。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  H02N 2/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22

FI (10件)：

H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101C ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 Z

Fターム (5件)：

2C057AF99 ,  2C057AG44 ,  2C057AG99 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3555682号公報(特許請求の範囲等)
  

審査官引用 (3件)

• 圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いた液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-204576   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子およびその製造方法、ならびにこれを用いたインクジェット記録ヘッド及びインクジェットプリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-329769   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-245353   出願人：セイコーエプソン株式会社